[发明专利]有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：

输送单元，包括用于固定基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、用于将其上固定有基底的传送单元沿着第一方向移动的第一输送单元和用于在已经完成沉积之后将基底从其分开的传送单元沿着与第一方向相反的方向移动的第二输送单元；

加载单元，将基底固定在传送单元上；

沉积单元，包括保持在真空状态下的室以及用于在固定在从加载单元传送的传送单元上的基底上沉积有机层的有机层沉积组件；以及

卸载单元，用于将在穿过沉积单元的同时已经对其完成了沉积的基底与传送单元分开，

其中，传送单元被构造为在第一输送单元和第二输送单元之间循环移动，

其中，固定在传送单元上的基底被构造为在被第一输送单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开设定距离，

其中，有机层沉积组件包括图案化缝隙片，图案化缝隙片包括沿着一个方向布置的多个图案化缝隙，

其中，第一输送单元和第二输送单元被构造为穿过沉积单元，

其中，传送单元包括被构造为通过第一输送单元和第二输送单元移动的运送器和固定地结合到运送器以固定基底的静电卡盘，

其中，磁轨位于运送器的表面上，第一输送单元和第二输送单元中的每个包括多个线圈，其中，磁轨和所述多个线圈结合在一起来构成用于产生使传送单元移动的驱动力的操作单元，

其中，传送单元在所述室中以不与第一输送单元接触的方式被传送。

2.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，第一输送单元和第二输送单元彼此平行地分别布置在上方和下方。

3.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，多个沉积单元彼此平行地布置，其中，一个图案化缝隙片更换单元设置在所述多个沉积单元中的两个相邻的沉积单元之间，其中，所述两个相邻的沉积单元的图案化缝隙片被构造为进入所述一个图案化缝隙片更换单元以及从所述一个图案化缝隙片更换单元拉出。

4.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，第一输送单元被进一步构造为将传送单元顺序输送到加载单元、沉积单元和卸载单元中。

5.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，第二输送单元被进一步构造为将传送单元顺序输送到卸载单元、沉积单元和加载单元中。

6.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，有机层沉积组件还包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，位于沉积源的侧面并且包括多个沉积源喷嘴，其中，图案化缝隙片面对沉积源喷嘴单元，其中，沉积源被构造为排放沉积材料穿过图案化缝隙片，以按特定图案沉积在基底上。

7.根据权利要求6所述的有机层沉积设备，其中，在第一方向和与第一方向垂直的第二方向中的至少任何一个方向上，有机层沉积组件的图案化缝隙片形成为比基底小。

8.根据权利要求6所述的有机层沉积设备，其中，有机层沉积设备包括多个有机层沉积组件，其中，所述多个有机层沉积组件中的各沉积源包括不同的沉积材料。

9.根据权利要求6所述的有机层沉积设备，其中，在基底相对于有机层沉积设备移动的同时，有机层沉积组件的各沉积材料顺序沉积在基底上。

10.根据权利要求6所述的有机层沉积设备，其中，有机层沉积设备和基底沿着与基底的在其上沉积沉积材料的表面平行的表面相对于彼此移动。

11.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，第一输送单元包括：引导构件，每个引导构件包括容纳槽，其中，各容纳槽被构造为容纳传送单元的两侧，以引导传送单元沿着第一方向移动；磁悬浮轴承，被构造为使传送单元从容纳槽悬浮，从而使传送单元以不与容纳槽接触的方式移动。

12.根据权利要求11所述的有机层沉积设备，其中，磁悬浮轴承包括布置在运送器的两个侧表面上的侧面磁悬浮轴承和布置在运送器上方的上磁悬浮轴承。

13.根据权利要求11所述的有机层沉积设备，其中，第一输送单元还包括用于测量引导构件和运送器之间的距离的间隙传感器。

14.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，所述多个线圈形成在大气箱中。

15.根据权利要求14所述的有机层沉积设备，其中，大气箱通过波纹管连接到所述室。