[发明专利]有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法

说明书

本申请要求于2012年6月22日提交到韩国知识产权局的第10-2012-0067303号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的公开通过引用被完全包含于此。

技术领域

本发明的方面涉及一种有机层沉积设备、一种通过利用所述有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法和一种利用所述方法制造的有机发光显示装置。

背景技术

与其它显示装置相比，有机发光显示装置具有更宽的视角、更好的对比度特性和更快的响应速度，因此已经作为下一代显示装置而受到关注。

有机发光显示装置包括设置在第一电极和第二电极之间的中间层（包括发射层）。可以利用各种方法来形成所述电极和中间层，这些方法之一是独立沉积方法。当通过利用沉积方法制造有机发光显示装置时，将具有与将要形成的有机层的图案相同图案的精细金属掩模（FMM）设置为与其上将形成有机层等的基底紧密接触，将有机层材料沉积在FMM上，以形成具有期望图案的有机层。

然而，利用这种FMM的沉积方法在利用大的母玻璃制造较大的有机发光显示装置时存在困难。例如，当使用这种大的掩模时，掩模会由于自身重力而弯曲，从而使图案扭曲。这种缺点不利于朝着高分辨率图案发展的近期趋势。

另外，将基底与FMM对准以彼此紧密接触的工艺、在基底上执行沉积的工艺以及将FMM与基底分开的工艺耗费时间，导致制造时间长并且生产效率低。

在本背景技术部分公开的信息对于本发明的发明人来说在实现本发明之前是已知的，或者所述信息是在实现本发明的过程中获取的技术信息。因此，它可能包含对于本领域普通技术人员来说在本国不构成已知的现有技术的信息。

发明内容

为了解决利用精细金属掩模（FMM）的沉积方法的缺点和/或其它问题，本发明的方面在于适用于在大基底的批量生产中使用的以及能够高分辨率地图案化的有机层沉积设备、利用所述有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法以及利用所述方法制造的有机发光显示装置。

根据本发明的实施例，提供了一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：输送单元，包括固定基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、用于将其上固定有基底的传送单元沿着第一方向移动的第一输送单元和用于在已经完成沉积之后将基底从其分开的传送单元沿着与第一方向相反的方向移动的第二输送单元；加载单元，将基底固定在传送单元上；沉积单元，包括保持在真空状态下的室以及用于在固定在从加载单元传送的传送单元上的基底上沉积有机层的至少一个有机层沉积组件；以及卸载单元，用于将在穿过沉积单元的同时已经对其完成了沉积的基底与传送单元分开，其中，传送单元被形成为在第一输送单元和第二输送单元之间循环移动，其中，固定在传送单元上的基底被形成为在被第一输送单元传送的同时与至少一个有机层沉积组件分隔开设定距离。

当第一输送单元和第二输送单元穿过沉积单元时，第一输送单元和第二输送单元可以彼此平行地分别布置在上方和下方。

多个沉积单元可以彼此平行地布置，一个图案化缝隙片更换单元可以设置在多个沉积单元中的两个相邻的沉积单元之间，两个相邻的沉积单元的图案化缝隙片可以进入所述一个图案化缝隙片更换单元以及可以从所述一个图案化缝隙片更换单元拉出。

第一输送单元可以将传送单元顺序输送到加载单元、沉积单元和卸载单元中。

第二输送单元可以将传送单元顺序输送到卸载单元、沉积单元和加载单元中。

至少一个有机层沉积组件可以包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的侧面并且包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，面对沉积源喷嘴单元并且包括沿着一个方向布置的多个图案化缝隙，从沉积源排放的沉积材料可以穿过图案化缝隙片，以按特定图案沉积在基底上。

在第一方向和与第一方向垂直的第二方向中的至少任何一个方向上，至少一个有机层沉积组件的图案化缝隙片可以形成为比基底小。

有机层沉积设备可以包括多个有机层沉积组件，多个有机层沉积组件中的各沉积源可以包括不同的沉积材料。

在基底相对于有机层沉积设备移动的同时，至少一个有机层沉积组件的各沉积材料可以顺序沉积在基底上。

有机层沉积设备和基底可以沿着与基底的在其上沉积沉积材料的表面平行的表面相对于彼此移动。

传送单元可以包括通过第一输送单元和第二输送单元移动的运送器和固定地结合到运送器以固定基底的静电卡盘。