[发明专利]陀螺传感器和电子设备

权利要求书

1.一种陀螺传感器，包括：

基板；

第一功能元件、第二功能元件以及第三功能元件，其以直线状被配置在所述基板上，

所述第一功能元件具备：

第一振动体，其在第一轴的方向上振动；

第一可动体，其被所述第一振动体支承，并根据以与所述第一轴正交的第二轴为轴的角速度，而在与所述第一轴和所述第二轴正交的第三轴的方向上进行位移，

所述第二功能元件具备：

第二振动体，其在所述第二轴的方向上振动；

第二可动体，其被所述第二振动体支承，并根据以所述第一轴为轴的角速度，而在所述第三轴的方向上进行位移，

所述第三功能元件具备：

第三振动体，其在所述第一轴的方向或所述第二轴的方向上振动；

第三可动体，其被所述第三振动体支承，并根据以所述第三轴为轴的角速度，而在与所述第三振动体的振动方向和所述第三轴的方向正交的方向上进行位移，

在所述第一功能元件、所述第二功能元件及所述第三功能元件中，

位于中央的功能元件的振动体的振动方向、和位于两侧的两个功能元件的可动体的位移方向为不同方向，

位于中央的功能元件的可动体的位移方向、和位于两侧的两个功能元件的振动体的振动方向为不同方向。

2.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

在所述第一功能元件的一侧配置有所述第二功能元件，在所述第一功能元件的另一侧配置有所述第三功能元件。

3.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

在所述第二功能元件的一侧配置有所述第一功能元件，在所述第二功能元件的另一侧配置有所述第三功能元件。

4.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

在所述基板上设置有第一凹部、第二凹部以及第三凹部，

在所述第一凹部上设置有所述第一振动体和所述第一可动体，

在所述第二凹部上设置有所述第二振动体和所述第二可动体，

在所述第三凹部上设置有所述第三振动体和所述第三可动体。

5.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

在所述基板上设置有槽部，

所述槽部在俯视观察时被设置在所述第一功能元件、所述第二功能元件以及所述第三功能元件中的相邻的功能元件之间。

6.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

所述第三轴的方向和所述基板的厚度方向相同。

7.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

所述基板的材质为玻璃，

所述第一振动体、所述第一可动体、所述第二振动体、所述第二可动体、所述第三振动体以及所述第三可动体的材质为硅。

8.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

所述第三振动体在所述第一轴的方向上振动，

在所述第二功能元件与所述第三功能元件之间，设置有所述第一功能元件。

9.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

所述第三振动体在所述第二轴的方向上振动，

在所述第一功能元件与所述第三功能元件之间，设置有所述第二功能元件。

10.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

所述第一功能元件、所述第二功能元件以及所述第三功能元件中的至少一个功能元件进行音叉型振动。

11.一种电子设备，其包括权利要求1至7中的任一项所述的陀螺传感器。