[发明专利]陀螺传感器和电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及陀螺传感器和电子设备。

背景技术

近年来，开发出了一种例如通过利用硅MEMS（Micro Electro Mechanical System：微型机电系统）技术而对角速度进行检测的角速度传感器（陀螺传感器）。关于陀螺传感器，例如数码照相机（DSC）的手抖补偿功能等的用途正在急速地扩大，并且要求具有多轴灵敏度的小型的装置。

例如，在专利文献1中公开了如下的技术，即，在同一个基板上，形成于X轴上具有灵敏度的角速度传感器、于Y轴上具有灵敏度的角速度传感器、和于Z轴上具有灵敏度的角速度传感器。

但是，在专利文献1中，在相邻的角速度传感器中，存在一个角速度传感器的驱动方向和另一个角速度传感器的由科里奥利力引起的位移方向相同的传感器。例如，在专利文献1的图1中，第一角速度传感器和第二角速度传感器具备不同的两个正交的驱动方向，并且至少某一方的驱动振动会对第三角速度传感器的科里奥利力的检测造成影响。这会引起轴间的机械性的串扰。因此，有时一个角速度传感器的驱动振动会对另一个角速度传感器的由科里奥利力引起的位移造成影响。由此，有时另一个角速度传感器的噪声特性会恶化，从而变得无法实施高精度的检测。

专利文献1：日本特开2007－322295号公报

发明内容

本发明的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种能够在实现小型化的同时具有较高的检测精度的陀螺传感器。此外，本发明的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种具有上述陀螺传感器的电子设备。

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，并且能够作为以下的方式或应用例而实现。

应用例1

本应用例所涉及的陀螺传感器包括：基板；被配置在所述基板上的第一功能元件、第二功能元件以及第三功能元件，所述第一功能元件具备：第一振动体，其在第一轴的方向上振动；第一可动体，其被所述第一振动体支承，并根据以与所述第一轴正交的第二轴为轴的角速度，而在与所述第一轴和所述第二轴正交的第三轴的方向上进行位移，所述第二功能元件具备：第二振动体，其在所述第二轴的方向上振动；第二可动体，其被所述第二振动体支承，并根据以所述第一轴为轴的角速度，在所述第三轴的方向上进行位移，所述第三功能元件具备：第三振动体，其在所述第一轴的方向或所述第二轴的方向上振动；第三可动体，其被所述第三振动体支承，并根据以所述第三轴为轴的角速度，在与所述第三振动体的振动方向和所述第三轴的方向正交的方向上进行位移，在所述第一功能元件、所述第二功能元件及所述第三功能元件中的相邻的功能元件中，一个功能元件的振动体的振动方向、和另一个功能元件的可动体的位移方向为不同方向，一个功能元件的可动体的位移方向、和另一个功能元件的振动体的振动方向为不同方向。

根据这种陀螺传感器，当第三振动体在第一轴的方向上振动时，在使第二振动体在第二轴的方向上振动的第二功能元件、与通过科里奥利力而使第三可动体在第二轴的方向上振动的第三功能元件之间，设置有第一功能元件。因此，能够使第二功能元件与第三功能元件之间的距离变大，并且能够实现小型化。由此，能够抑制第二振动体的振动经由基板而对第三可动体的通过科里奥利力而产生的位移造成影响的情况。其结果为，这种陀螺传感器能够抑制噪声特性恶化的情况，并且能够在实现小型化的同时具有较高的检测精度。此外，当第三振动体在第二轴的方向上振动时，在使第一振动体在第一轴的方向上振动的第一功能元件、与通过科里奥利力而使第三可动体在第一轴的方向上振动的第三功能元件之间，设置有第二功能元件。因此，这种陀螺传感器和使第三振动体在第一轴的方向上振动的情况一样，能够在实现小型化的同时具有较高的检测精度。

应用例2

在本应用例所涉及的陀螺传感器中，可以采用下述方式，即，在所述第一功能元件的一侧配置有所述第二功能元件，在所述第一功能元件的另一侧配置有所述第三功能元件。

应用例3

在本应用例所涉及的陀螺传感器中，可以采用下述方式，即，在所述第二功能元件的一侧配置有所述第一功能元件，在所述第二功能元件的另一侧配置有所述第三功能元件。

应用例4

在本应用例所涉及的陀螺传感器中，可以采用下述方式，即，所述第一功能元件、所述第二功能元件以及所述第三功能元件在所述基板上以直线状排列。

根据这种陀螺传感器，能够在实现小型化的同时具有较高的检测精度。

应用例5