[发明专利]排气加热装置

权利要求书

1.一种排气加热装置，其用于对含有自气体处理装置的处理容器排出的未反应的处理气体的排气进行加热，该气体处理装置利用处理气体进行规定处理，该排气加热装置的特征在于，

该排气加热装置包括：加热容器，其用于对排气进行加热；

内部壁，其用于将上述加热容器内划分为中央的第1气体流通空间和第2气体流通空间，该第2排气流通空间面对上述加热容器的外周壁并围绕上述第1排气流通空间；

气体导入部，其用于向上述第1气体流通空间导入排气；

气体排出部，其用于将排气自上述第2气体流通空间排出；

连通部，其用于将上述第1气体流通空间与上述第2气体流通空间连通；以及

加热部件，其设置于上述第1气体流通空间内，用于对在上述第1气体流通空间中流动的排气进行加热。

2.根据权利要求1所述的排气加热装置，其特征在于，

上述第2气体流通空间利用上述内部壁与上述第1气体流通空间绝热，在上述第2气体流通空间中流动的气体借助上述加热容器的外周壁进行散热。

3.根据权利要求1或2所述的排气加热装置，其特征在于，

上述加热容器的外周壁呈筒状，上述外周壁和上述内部壁形成为同轴状，上述外周壁的两端部被第1盖构件和第2盖构件封堵。

4.根据权利要求3所述的排气加热装置，其特征在于，

在上述第1盖构件上设有上述气体导入部。

5.根据权利要求3或4所述的排气加热装置，其特征在于，

上述第1气体流通空间形成为柱状，上述第2气体流通空间呈筒状形成在上述第1气体流通空间的周围，上述加热部件具有以与上述第1气体流通空间的长边方向相对应的方式形成的加热器。

6.根据权利要求5所述的排气加热装置，其特征在于，

上述加热器借助绝热构件安装在上述第2盖构件上，在安装上述第2盖构件时，上述加热器插入到上述第1气体流通空间内。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的排气加热装置，其特征在于，

上述连通部设于上述内部壁中的、与上述气体导入部相反的一侧且不与上述气体排出部相对的位置。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的排气加热装置，其特征在于，

上述连通部位于与上述气体导入部相反的一侧，且沿着上述内部壁的整周设置。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的排气加热装置，其特征在于，

该排气加热装置还包括多个挡板，该多个挡板配置于上述第1气体流通空间中，用于使气流弯曲而延长气体流路长度。

10.根据权利要求9所述的排气加热装置，其特征在于，

上述挡板固定于上述内部壁的内表面。

11.根据权利要求9所述的排气加热装置，其特征在于，

上述挡板安装在框架上而构成装卸式的阻挡单元，上述阻挡单元被插入到上述第1气体流通空间内。