[发明专利]LPCVD系统排风结构

权利要求书

1.一种LPCVD系统排风结构，其特征在于，包括尾气管道、杯形体以及排风管道，所述尾气管道的侧面设有气体入口，且所述尾气管道的一端设有氮气输入接头，所述杯形体的底部可拆卸的套设于所述尾气管道的另一端，所述排风管道的一端插设于所述杯形体的杯腔内，所述排风管道与所述杯形体的内壁以及底部均具有间隙，且所述排风管道经所述杯腔与所述尾气管道连通。

2.根据权利要求1所述的一种LPCVD系统排风结构，其特征在于，还包括用于将所述尾气管道固定至相应机架的连接件，所述连接件套设于所述尾气管道外。

3.根据权利要求1或2所述的一种LPCVD系统排风结构，其特征在于，所述气体入口为多个。

4.所述根据权利要求3所述的一种LPCVD系统排风结构，其特征在于，所述气体入口设有法兰接头。