[发明专利]一种起爆序列用V型结构MEMS执行器有效
| 申请号： | 201310176131.0 | 申请日： | 2013-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN103288041A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 赵玉龙;胡腾江;李波;白颖伟 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 起爆 序列 结构 mems 执行 | ||
1.一种起爆序列用V型结构MEMS执行器，包括单晶硅衬底（1），其特征在于：单晶硅衬底（1）上制作有直径为150～180um的加速膛孔（5），二氧化硅绝缘层（2）在单晶硅衬底（1）上生长，生长厚度为2～3um，将单晶硅结构层（3）与生长了二氧化硅绝缘层（2）的单晶硅衬底（1）键合，单晶硅结构层（3）的厚度为50～100um，金属电极层（4）沉积在单晶硅结构层（3）的锚点（3-2）上；
MEMS执行器在单晶硅结构层（3）中制作，MEMS执行器包括锚点（3-2），成阵列结构的V型梁热电驱动单元（3-3）的两端与锚点（3-2）连接，中间臂（3-4）位于V型梁热电驱动单元（3-3）的中间并相互固定，柔性梁（3-5）的两端分别与中间臂（3-4）和杠杆（3-1）的首端相连接，隔板（3-6）制作在杠杆（3-1）的末端，隔板（3-6）将加速膛孔（5）挡住；
所述的MEMS执行器是除去与锚点（3-2）键合的部分，其余的二氧化硅绝缘层（2）将被腐蚀掉，使杠杆（3-1）、V型梁热电执行器（3-3）、中间臂（3-4）、柔性梁（3-5）以及隔板（3-6）悬空，形成最终的可动结构。
2.根据权利要求1所述的一种起爆序列用V型结构MEMS执行器，其特征在于：所述的V型梁热电驱动单元（3-3）的总长度为1000～2000um，宽为30～40um，中间夹角为160～170°，每组V型梁热电驱动单元之间的间距为80～100um。
3.根据权利要求1所述的一种起爆序列用V型结构MEMS执行器，其特征在于：所述的柔性梁（3-5）的长度为300～500um，宽度为10～15um。
4.根据权利要求1所述的一种起爆序列用V型结构MEMS执行器，其特征在于：所述的隔板（3-6）为边长200～250um的正方形结构。
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