[发明专利]一种微流体器件及其制造方法

权利要求书

1.一种微流体器件，用于控制和/或处理和/或检测微流体的一种或多种信号，其包括逻辑电路区域及流体区域，其特征在于，在所述流体区域中包括至少一个贯穿所述器件的上下表面且允许所述微流体流过的流体通道，

其中，所述流体通道为一通过通孔刻蚀技术或打孔技术形成的贯穿衬底的上下表面的流体通道，

其中，所述逻辑电路区域设置在所述流体区域的外围，所述逻辑电路区域中设置有具有行选择器及列选择器的逻辑电路，所述流体阵列中的每个流体通道的内壁上均附着有至少一个传感器，用于感测流过所述流体通道的微流体的一种或多种信号，所述传感器与所述行选择器和/或列选择器相关联；

流体通道中所能检测的信号包括生物学，化学，或物理学性质，或它们的组合。

2.如权利要求1所述的微流体器件，其特征在于，在所述流体区域内包括由mxn个流体通道组成的流体阵列，其中m，n为自然数。

3.如权利要求1-2中任一项所述的微流体器件，其特征在于，所述流体通道的孔径及密度被设计成使所述微流体经过所述流体通道分流之后的流量范围在0.01皮升至10毫升之间。

4.如权利要求1所述的微流体器件，其特征在于，所述化学包括电化学或生物化学；所述物理学包括电学、磁学、热学、光学、声学、力学、或生物物理学。

5.如权利要求4所述的微流体器件，其特征在于，所述电化学包括生物电化学；所述电学包括机电学；所述磁学包括电磁学；所述光学包括电光学；所述力学包括电化学机械；所述生物物理学包括生物力学、生物光学、或生物热学。

6.如权利要求5所述的微流体器件，其特征在于，所述生物力学包括生物电力学、生物电化力学、或生物热力学；所述生物光学包括生物电光学、生物机械光学、生物热光学、生物电化学光学、生物机电光学、或生物电热光学；所述生物热学包括生物电热学。

7.一种用于制造如权利要求1-6任一项所述的微流体器件的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

-提供一衬底；

-在所述衬底上沉积材料层；

-通过微电子加工工艺对所述材料层进行图形化，以在所述流体区域内形成至少一个开口区域；

-通过通孔刻蚀技术或打孔技术对所述开口区域中的衬底进行刻蚀或打孔，以形成至少一个贯穿衬底上下表面的流体通道；

-去除所述材料层。

8.如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述衬底的材料选自导体材料、半导体材料、绝缘材料及高分子材料中的一种或多种。