[发明专利]一种微流体器件及其制造方法有效
申请号: | 201310180749.4 | 申请日: | 2013-05-16 |
公开(公告)号: | CN104162457B | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 俞昌;杜学东;唐星 | 申请(专利权)人: | 昌微系统科技(上海)有限公司 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人: | 李佳铭 |
地址: | 200025 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 流体 器件 及其 制造 方法 | ||
本发明提供一种微流体器件,用于控制和/或处理和/或检测微流体的一种或多种信号,其包括逻辑电路区域及流体区域,其中,在所述流体区域中包括至少一个贯穿所述器件的上下表面且允许所述微流体流过的流体通道。
技术领域
本发明涉及一种器件及其制造工艺,尤其涉及一种用于控制和/或处理和/或检测微流体的一种或多种信号的微流体器件及其制造工艺。
背景技术
目前,在生物、化学、材料等涉及流体操作的科学实验中,如样品DNA的制备、液相色谱、PCR反应、电泳检测等都是在液相环境中进行,样品制备、生化反应、结果检测等步骤都集成在生物器件上,实验所用流体的量就从毫升、微升级降至纳升或皮升级。因此需要能够精密控制与操作流体的微流体器件。
现有的流体器件往往是在器件的平面方向上布局流体,或在流体运动方向上的绝大部分路径排布在器件平面内。对于日趋精密的流量控制以及复杂的后续操作、结果检测、数据分析与存储等要求,现有的器件技术很难全部满足。
发明内容
为了克服上述技术缺陷,本发明的目的在于提供一种能够提供精密测量的微流体器件。
为了实现上述目的,本发明提供一种微流体器件,用于控制和/或处理和/或检测微流体的一种或多种信号,其包括逻辑电路区域及流体区域,其特征在于,在所述流体区域中包括至少一个贯穿所述器件的上下表面且允许所述微流体流过的流体通道。
优选地,在本发明中,所述每个流体通道内的内壁上都附着有至少一个传感器,用于感测流过所述流体通道的微流体的一种或多种信号。
优选地,在本发明中,在所述流体区域内包括由mxn个流体通道组成的流体阵列,其中m,n为自然数。
优选地,在本发明中,所述逻辑电路区域中设置有具有行选择器及列选择器的逻辑电路,所述流体阵列中的每个流体通道的内壁上均附着有至少一个传感器,所述传感器与所述行选择器和/或列选择器相关联。
优选地,在本发明中,所述逻辑电路区域设置在所述流体区域的外围。
优选地,在本发明中,所述流体通道的孔径及密度被设计成使所述微流体经过所述流体通道分流之后的流量范围在0.01皮升至10毫升之间。
另外,本发明提供一种用于制造如前所述的微流体器件的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:
-提供一衬底;
-在所述衬底上沉积材料层;
-通过微电子加工工艺对所述材料层进行图形化,以在所述流体区域内形成至少一个开口区域;
-通过通孔刻蚀技术或打孔技术对所述开口区域中的衬底进行刻蚀或打孔,以形成至少一个贯穿衬底上下表面的流体通道;
-去除所述材料层。
优选地,在本发明中,所述衬底的材料选自导体材料、半导体材料、绝缘材料及高分子材料中的一种或多种。
基于上述设置,本发明所提供的微流体器件包含贯穿于器件的通道阵列,能够对待处理微流体进行分流,形成更小量的流体,也可以对微流体进行检查,同时该器件还能够组合使用。
附图说明
图1为本发明一优选实施例提供的微流体器件的结构示意图;
图2a-2e为本发明一优选实施例提供的微流体器件制造工艺流程图;
图2f为图2e的立体图。
具体实施方式
以下将结合具体实施例及附图对本发明的优点做进一步的描述。
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