[发明专利]曝光机曝光路径的检测方法及应用其的曝光方法

权利要求书

1.一种曝光机曝光路径的检测方法，其特征在于，包含下列步骤：

A.提供处理单元、直线移动距离测量单元及至少一个影像撷取单元于该曝光机，及提供标准基板，该标准基板上布设有至少一个标记组，该标记组具有多个标记，这些标记沿直线方向间隔排列；

B.放置该标准基板于该曝光机的承载台上；

C.使该影像撷取单元与该标准基板沿该直线方向相对移动；以及

D.使该直线移动距离测量单元传送该承载台或该曝光机的至少一个曝光装置的直线移动距离至该处理单元，使该影像撷取单元传送这些标记的影像至该处理单元，以使该处理单元产生这些标记的测量位置组。

2.如权利要求1所述的曝光机曝光路径的检测方法，其特征在于，该步骤C为该承载台沿该直线方向移动，该影像撷取单元静止，以使该影像撷取单元与该标准基板沿该直线方向相对移动，或，该步骤C为该影像撷取单元沿该直线方向移动，该承载台静止，以使该影像撷取单元与该标准基板沿该直线方向相对移动。

3.如权利要求1所述的曝光机曝光路径的检测方法，其特征在于，该直线移动距离测量单元为光学尺。

4.如权利要求1所述的曝光机曝光路径的检测方法，其特征在于，该影像撷取单元为电荷耦合组件。

5.如权利要求1所述的曝光机曝光路径的检测方法，其特征在于，这些标记分别为圆形或其他几何形状。

6.如权利要求1所述的曝光机曝光路径的检测方法，其特征在于，这些标记沿该直线方向相同间隔排列。

7.一种曝光机的曝光方法，其特征在于，应用如权利要求1至6任一项所述的曝光机曝光路径的检测方法，该曝光机的曝光方法还包含下列步骤：

E移除该标准基板，并放置感光电路板于该曝光机的承载台上；以及

F使该感光电路板与该曝光机的至少一个曝光装置沿该直线方向相对移动，并使该曝光装置依照这些测量位置组对该感光电路板曝光。

8.如权利要求7所述的曝光机的曝光方法，其特征在于，该步骤F为该承载台沿该直线方向移动，该曝光装置静止，以使该感光电路板与该曝光装置沿该直线方向相对移动，或，该步骤F为该曝光装置沿该直线方向移动，该承载台静止，以使该感光电路板与该曝光装置沿该直线方向相对移动。