[发明专利]曝光机曝光路径的检测方法及应用其的曝光方法

说明书

技术领域

本发明关于一种曝光机曝光路径的检测方法及应用其的曝光方法，尤指利用标准基板检测的检测方法及应用其的曝光方法。

背景技术

目前产业界制造电路板时普遍需利用到曝光机，其中扫描式曝光机为其中之一，扫描式曝光机主要是先将感光电路板放置于扫描式曝光机的承载台上，接着再使承载台相对于扫描式曝光机的曝光装置直线移动，或使曝光装置相对于承载台直线移动，以使曝光装置对感光电路板曝光。然而，扫描式曝光机的承载台或曝光装置通常借由驱动机构驱动承载台或曝光装置直线移动，当承载台相对于曝光装置直线移动，或曝光装置相对于承载台直线移动时，承载台或曝光装置可能会因为驱动机构的瑕疵而产生左右偏移的现象，其会直接造成曝光装置曝光失准，进而使得当下曝光的感光电路板报废。

因此，如何发明出一种曝光机曝光路径的检测方法及应用其的曝光方法，以使其可提升曝光机曝光的准确度进而提升电路板的制造合格率，将是本发明所欲积极揭露之处。

发明内容

有鉴于上述现有技术的缺憾，发明人有感其未臻于完善，遂竭其心智悉心研究克服，凭其从事该项产业多年的累积经验，进而研发出一种曝光机曝光路径的检测方法及应用其的曝光方法，以期达到提升曝光机曝光的准确度进而达到提升电路板的制造合格率的目的。

为达上述目的，本发明的第一实施例提供一种曝光机曝光路径的检测方法，其包含下列步骤：

A.提供处理单元、直线移动距离测量单元及至少一个影像撷取单元于该曝光机，及提供标准基板，该标准基板上布设有至少一个标记组，该标记组具有多个标记，这些标记沿直线方向间隔排列；

B.放置该标准基板于该曝光机的承载台上；

C.使该影像撷取单元与该标准基板沿该直线方向相对移动；以及

D.使该直线移动距离测量单元传送该承载台或该曝光机的至少一个曝光装置的直线移动距离至该处理单元，使该影像撷取单元传送这些标记的影像至该处理单元，以使该处理单元产生这些标记的测量位置组。

上述曝光机曝光路径的检测方法中，该步骤C为该承载台沿该直线方向移动，该影像撷取单元静止，以使该影像撷取单元与该标准基板沿该直线方向相对移动，或，该步骤C为该影像撷取单元沿该直线方向移动，该承载台静止，以使该影像撷取单元与该标准基板沿该直线方向相对移动。

上述曝光机曝光路径的检测方法中，该直线移动距离测量单元为光学尺。

上述曝光机曝光路径的检测方法中，该影像撷取单元为电荷耦合组件(Charge-Coupled Device,CCD)。

上述曝光机曝光路径的检测方法中，这些标记分别为圆形或其他几何形状。

上述曝光机曝光路径的检测方法中，这些标记沿该直线方向相同间隔排列。

本发明的第二实施例提供一种曝光机的曝光方法，其应用如上所述的曝光机曝光路径的检测方法，该曝光机的曝光方法还包含下列步骤：

E移除该标准基板，并放置感光电路板于该曝光机的承载台上；以及

F使该感光电路板与该曝光机的至少一个曝光装置沿该直线方向相对移动，并使该曝光装置依照这些测量位置组对该感光电路板曝光。

上述曝光机的曝光方法中，该步骤F为该承载台沿该直线方向移动，该曝光装置静止，以使该感光电路板与该曝光装置沿该直线方向相对移动，或，该步骤F为该曝光装置沿该直线方向移动，该承载台静止，以使该感光电路板与该曝光装置沿该直线方向相对移动。

由此，本发明的曝光机曝光路径的检测方法及应用其的曝光方法可提升曝光机曝光的准确度进而提升电路板的制造合格率。

附图说明

图1为本发明第一实施例的示意图一。

图2为本发明第一实施例的示意图二。

图3为本发明第二实施例的示意图。

主要部件附图标记：

1              处理单元

2              直线移动距离测量单元

3              影像撷取单元

4              标准基板

41             标记组

411            标记

42             直线方向

5              感光电路板

9              曝光机

91             承载台

911            L形固定框

92             曝光装置