[发明专利]自动调节灰度的检出系及方法

权利要求书

1.一种自动调节灰度的检出系，包括检出镜头，所述检出镜头用于采集掩膜版上的掩膜对位标记和玻璃基板上的基板对位标记的图像形成掩膜对位图像和基板对位图像，其特征在于，在检出镜头形成基板对位图像的光路上还设有自动滤光装置4，所述自动滤光装置4包括灰度检测模块、控制模块和滤光片；所述灰度检测模块用于检测检出镜头形成的基板对位图像的灰度；所述控制模块用于根据灰度检测模块检测到的基板对位图像的灰度追加或去除滤光片；所述滤光片用于滤掉光路中的部分光线，降低基板对位图像的灰度。

2.如权利要求1所述的自动调节灰度的检出系，其特征在于，所述滤光片设置在检出镜头前。

3.如权利要求1所述的自动调节灰度的检出系，其特征在于，所述滤光片的颜色为红色、蓝色或绿色。

4.如权利要求1所述的自动调节灰度的检出系，其特征在于，所述滤光片的颜色与检出系所在工序需要制作的色层颜色相同。

5.如权利要求1所述的自动调节灰度的检出系，其特征在于，所述检出系还包括光源，用于产生光线照射玻璃基板上的基板对位标记和掩膜版上的掩膜对位标记，增强基板对位标记和掩膜对位标记的辨识度。

6.如权利要求5所述的自动调节灰度的检出系，其特征在于，所述检出系还包括半透明反射镜，所述半透明反射镜设于检出镜头与掩膜版之间，用于将所述光源发出的光反射后照射掩膜对位标记和基板对位标记。

7.一种检出系的自动调节灰度方法，其特征在于，包括：

检测检出镜头形成的基板对位图像的灰度；

根据所述基板对位图像的灰度在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加或去除滤光片，改变基板对位图像的灰度。

8.一种掩膜版与玻璃基板对齐方法，所述方法通过多点对位法，即利用多个检出系对位掩膜版上的多个掩膜对位标记和玻璃基板上相应的多个基板对位标记来对齐掩膜版与玻璃基板，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

检测各个检出系的检出镜头形成基板对位图像的灰度；

当各个检出系的基板对位图像的灰度不一致时，在基板对位图像灰度较高的检出系的检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片，降低基板对位图像的灰度，使得所有检出系的检出镜头形成的基板对位头像的灰度一致。

9.如权利要求8所述的掩膜版与玻璃基板对齐方法，其特征在于，在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片时，所述滤光片的颜色与检出系所在工序需要制作的色层颜色相同。

10.如权利要求8所述的掩膜版与玻璃基板对齐方法，其特征在于，在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片时，所述滤光片追加设置在检出镜头前。