[发明专利]自动调节灰度的检出系及方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种自动调节灰度的检出系及方法。

背景技术

如图1所示，目前在制作液晶面板的彩膜滤光片的RGB膜层的曝光工序中，经常采用四点对位的方式来对齐掩膜版6与玻璃基板7，即通过对位掩膜版6四角的对位标记和玻璃基板7四角的对位标记来对齐掩膜版6与玻璃基板7，只有四点同时对位后，才会自动曝光。

上述每个点的对位通过检出系完成，所述检出系包括检出镜头1、半透明反射镜2和光源3，所述光源3发出的光通过半透明反射镜2和负压掩膜版5后垂直照射掩膜版6和玻璃基板7，所述检出镜头1采集掩膜版6上的掩膜对位标记8和玻璃基板7上的基板对位标记9的图像形成掩膜对位图像10和基板对位图像11，通过检测掩膜对位图像10和基板对位图像11的匹配程度来检测基板对位标记9与掩膜对位标记8的对位程度。

上述掩膜版6与玻璃基板7的对齐过程中，如果某次对位过程出现四个检出系中基板对位图像11的灰度不一致，检出系会认为掩膜版6与玻璃基板7没有对齐，需要手动进行调节，造成检出系自动化程度低，影响产能。现有技术经常通过对玻璃基板7上的四个基板对位标记9区域全部涂覆光刻胶，以保证其灰度一致，而实际应用中出于降低成本考虑，涂覆范围会缩小，从而不能保证基板对位标记9区域全部涂覆，因此造成现有技术的检出系对位错误率高，自动化程度低。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是：提供一种能够自动调节检出镜头形成的基板对位图像灰度的检出系及方法。

（二）技术方案

为解决上述问题，本发明公开了如下的技术方案：

第一方面，提供了一种自动调节灰度的检出系，包括检出镜头，所述检出镜头用于采集掩膜版上的掩膜对位标记和玻璃基板上的基板对位标记的图像形成掩膜对位图像和基板对位图像，在检出镜头形成基板对位图像的光路上还设有自动滤光装置，所述自动滤光装置包括灰度检测模块、控制模块和滤光片；所述灰度检测模块用于检测检出镜头形成的基板对位图像的灰度；所述控制模块用于根据灰度检测模块检测到的基板对位图像的灰度追加或去除滤光片；所述滤光片用于滤掉光路中的部分光线，降低基板对位图像的灰度。

在第一方面的第一种可能实现方式中，所述滤光片设置在检出镜头前。

在第一方面的第二种可能实现方式中，所述滤光片的颜色为红色、蓝色或绿色。

在第一方面的第三种可能实现方式中，所述滤光片的颜色与检出系所在工序需要制作的色层颜色相同。

在第一方面的第四种可能实现方式中，所述检出系还包括光源，用于产生光线照射玻璃基板上的基板对位标记和掩膜版上的掩膜对位标记，增强基板对位标记和掩膜对位标记的辨识度。

在第一方面的第五种可能实现方式中，所述检出系还包括半透明反射镜，所述半透明反射镜设于检出镜头与掩膜版之间，用于将所述光源发出的光反射后照射掩膜对位标记和基板对位标记。

第二方面，提供一种检出系的自动调节灰度方法，该方法包括：

检测检出镜头形成的基板对位图像的灰度；

根据所述基板对位图像的灰度在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加或去除滤光片，改变基板对位图像的灰度。

第三方面，提供一种掩膜版与玻璃基板对齐方法，所述方法通过多点对位法，即利用多个检出系对位掩膜版上的多个掩膜对位标记和玻璃基板上相应的多个基板对位标记来对齐掩膜版与玻璃基板，所述方法包括以下步骤：

检测各个检出系的检出镜头形成基板对位图像的灰度；

当各个检出系的基板对位图像的灰度不一致时，在基板对位图像灰度较高的检出系的检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片，降低基板对位图像的灰度，使得所有检出系的检出镜头形成的基板对位头像的灰度一致。

在第三方面的第一种可能实现方式中，在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片时，所述滤光片的颜色与检出系所在工序需要制作的色层颜色相同。

在第三方面的第二种可能实现方式中，在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片时，所述滤光片追加设置在检出镜头前。

（三）有益效果