[发明专利]一种全反射X射线荧光光谱仪有效
| 申请号： | 201310190082.6 | 申请日： | 2013-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN103323478A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 杨东华 | 申请（专利权）人： | 杨东华 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 郑自群 |
| 地址： | 341600 江西省赣*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全反射 射线 荧光 光谱仪 | ||
1.一种全反射X射线荧光光谱仪，其特征在于，包括：
样品室：包括用于盛放样品的样品台、样品定位装置和用于探测所述样品受X射线照射时产生的荧光的探测器；
X射线管发生装置：用于发射X射线照射至所述样品，所述X射线入射至所述样品的入射角＜0.1°；
单色器装置：用于将所述X射线形成单色光；
控制装置：用于接收所述探测器探测到的所述样品产生的荧光和分析所述样品中的元素及含量。
2.如权利要求1所述的全反射X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述X射线管发生装置包括X射线光管和为所述X射线光管提供电源的高压发生器。
3.如权利要求2所述的全反射X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述X射线光管为钼靶X射线光管。
4.如权利要求1所述的全反射X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述单色器装置包括滤光片、前置狭缝、单色器和后置狭缝，所述X射线依次通过所述滤光片、所述前置狭缝、所述单色器和所述后置狭缝入射至所述样品上。
5.如权利要求4所述的全反射X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述单色器为天然晶体。
6.如权利要求4所述的全反射X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述前置狭缝为金属材料制成，所述金属材料为银、钢或铂中的一种，其长宽尺寸为20mm×1mm。
7.如权利要求1所述的全反射X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述探测器为硅漂移探测器，其能量分辨率<155eV。
8.如权利要求1所述的全反射X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述样品台上设置有样品载体，所述样品载体为圆片。
9.如权利要求8所述的全反射X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述圆片直径为30mm，厚2～3mm。
10.如权利要求8所述的全反射X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述样品载体为石英载片或丙烯酸玻璃载片。
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