[发明专利]一种检测高纯氧化铝熔块中杂质元素的方法

权利要求书

1.一种检测高纯氧化铝熔块中杂质元素的方法，其特征在于将研磨后的高纯氧化铝熔块m_{高纯氧化铝熔块粉}置于四氟乙烯消解罐内，加入体积比为5:1的磷酸和硫酸的混合溶液，在230～240℃条件下保温反应至结束；降温后，将反应的混合体系加纯水定容至总体积为V，上ICP-MS机检测出所述高纯氧化铝熔块中各杂质元素的C_测；再通过以下公式计算出所述高纯氧化铝熔块中各杂质元素的含量：

各杂质元素的含量C＝V×C_测/ m_{高纯氧化铝熔块粉}。

2.根据权利要求1所述检测高纯氧化铝熔块中杂质元素的方法，其特征在于研磨所述高纯氧化铝熔块的研钵和钵杵为5N以上高纯氧化铝粉烧结而成。

3.根据权利要求1或2所述检测高纯氧化铝熔块中杂质元素的方法，其特征在于的研磨后的高纯氧化铝粒度小于50微米。