[发明专利]基板检查装置及基板检查装置用透射照明装置

权利要求书

1.一种基板检查装置，相对于由基板支撑部支撑的基板的主面而在互为相反的侧设置相机与红外光源，且通过所述相机测定从所述红外光源照射并透射过所述基板的红外光来检查所述基板，其特征在于：

将所述红外光源的形状及配置设为所述相机的所述红外光源的视野利用所述相机的所述基板的视野而被覆盖的构成，并且所述基板检查装置包括指向性调整设备及强度调整设备中的至少一者，所述指向性调整设备使从所述红外光源照射至所述基板的红外光的照射方向朝向所述基板的端缘方向，且所述强度调整设备调整从所述红外光源照射至所述基板的红外光的强度，使得在所述基板的端缘区域上，所述红外光的强度大于在所述基板的中央部上的所述红外光的强度。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于：

相对于由所述基板支撑部支撑的基板而在与所述相机为相反侧的位置上接近于所述基板来配置所述红外光源，且使从所述相机观察到的所述红外光源的外形设为与所述基板的外形相似的形状、且设为所述基板以下的大小。

3.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其特征在于所述指向性调整设备为菲涅耳透镜。

4.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其特征在于：

所述红外光源由出射红外光的多个发光二极管元件构成，且所述强度调整设备能将所述多个发光二极管元件划分为多个区域，并针对所述各区域决定所述发光二极管元件的发光强度。

5.根据权利要求4所述的基板检查装置，其特征在于所述强度调整设备对应所述基板的表面状态而针对所述各区域决定所述发光二极管元件的发光强度。

6.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于：将辅助红外光源设置在所述红外光源的周围，通过所述辅助红外光源从外侧倾斜照明所述基板，并且配置光罩，且利用所述相机的所述光罩的视野覆盖所述相机的所述辅助红外光源的视野，来防止所述辅助红外光源的红外光不透射过所述基板便到达所述相机的情况。

7.一种基板检查装置，相对于由基板支撑部支撑的基板的主面而在互为相反的侧设置相机与红外光源，且通过所述相机测定从所述红外光源照射并透射过所述基板的红外光来检查所述基板，其特征在于：

将所述红外光源的形状及配置设为所述相机的所述红外光源的视野被所述相机的所述基板的视野覆盖的构成，并且将辅助红外光源设置在所述红外光源的周围，通过所述辅助红外光源从外侧倾斜照明所述基板，并且配置光罩，且利用所述相机的所述光罩的视野覆盖所述相机的所述辅助红外光源的视野，来防止辅助红外光源的红外光不透射过所述基板便到达所述相机的情况。

8.一种基板检查装置用透射照明装置，用于通过相机测定透射过基板的红外光来检查所述基板的基板检查装置，其特征在于包括：

红外光源，照射红外光，并且以利用所述相机的视野被所述相机的所述基板的视野覆盖的方式构成所述红外光源的形状及配置；以及

指向性调整设备及强度调整设备中的至少一者，所述指向性调整设备使从所述红外光源照射至所述基板的红外光的照射方向朝向所述基板的端缘方向，且所述强度调整设备调整从所述红外光源照射至所述基板的红外光的强度，使得在所述基板的端缘区域上，所述红外光的强度大于在所述基板的中央部上的所述红外光的强度。

9.根据权利要求8所述的基板检查装置用透射照明装置，其特征在于所述红外光源从所述相机观察到的外形为与所述基板的外形相似的形状，且具有所述基板以下的大小，并且所述红外光源相对于所述基板而在与所述相机为相反侧的位置上接近于所述基板来配置。