[发明专利]基板检查装置及基板检查装置用透射照明装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种基板检查装置及基板检查装置用透射照明装置，特别是涉及一种以太阳能电池单元用基板为检查对象的基板的检查装置及基板检查装置用透射照明装置。

背景技术

对太阳能电池单元的制造步骤中的电极形成步骤之前的步骤、例如验收(receiving inspection)步骤或防反射膜的成膜步骤前或成膜步骤后的太阳能电池用基板，执行检查断裂或缺陷的形状检查、检查附于基板上的微粒(particle)、防反射膜的针孔(pin hole)、防反射膜的膜厚不均等的表面状态检查、及检查在太阳能电池单元的内部产生的微裂纹(microcrack)或孔隙(void)等的内部检查。

其中，进行检查在太阳能电池用基板的内部产生的微裂纹或孔隙等的内部检查的情形时，从基板的背面侧照射红外光并对透射过基板的红外光进行拍摄。

专利文献1中揭示有一种红外线检查装置，其从红外光源对半导体晶圆(wafer)照射红外线，并且通过红外线相机(camera)对透射过半导体晶圆的红外线进行拍摄。该红外线检查装置构成为，利用红外线的透射状态在裂纹等的异常部分与多晶硅基板部分上不同的特点，来检测半导体晶圆内部的微小裂纹。

该基板检查装置在从光源照射的红外光通过基板端缘的外侧却不透射过基板便直接入射至相机的情形时，与在透射过基板之后入射至相机的红外光相比，直接入射至相机的红外光的强度极大，由此通过相机拍摄的图像在基板的端缘附近变得极其明亮，难以识别透射过基板的红外光。因此，无法准确辨认在太阳能电池单元的内部产生的微裂纹或孔隙等。该现象在为了检查红外线的透射率低的基板而从红外光源照射强红外线的情形时特别显著。

因此，在专利文献1中记载的发明中，通过以接触于受检体的外周部全体的状态设置的引导体(guide)，防止来自红外光源的红外线从受检体的端部外泄露而达到红外线透镜(第1实施方式)，或者，通过将红外线经由狭缝(slit)照射至受检体，来抑制红外线的照射方向(第2实施方式)，从而防止来自红外光源的红外线直接到达红外线透镜。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开平2006-351669号公报。

有鉴于上述现有的基板检查装置存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型的基板检查装置及基板检查装置用透射照明装置，能够改进一般现有的基板检查装置，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

如专利文献1的第1实施方式所记载般，以接触于受检体的外周部全体的状态配置引导体，由此不仅需要用于此的特别的构成，且对基板的检查耗费时间，而且在接触时还有可能损伤基板。通常，检查基板是利用皮带(belt)等沿横向高速搬送，因此作为检查时的试样的定位精度的余裕，需要宽度至少为数mm的空间，且需要即便光通过此空间，该光也不会到达相机的构成。

此外，如专利文献1的第2实施方式所记载般，在采用经由狭缝照射红外线的构成的情形时，产生无法将红外光照射至基板的背面全体的问题。

本发明是为解决上述问题而完成的，其目的在于提供一种基板检查装置及基板检查装置用透射照明装置，该基板检查装置可防止来自红外光源的红外光不透射过基板便入射至相机，从而可准确地检查基板。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明技术方案1记载的一种基板检查装置，相对于由基板支撑部支撑的基板的主面(主面意指占基板大部分表面积的基板表面，而非基板侧面)而在互为相反的侧设置相机与红外光源，且通过所述相机测定从所述红外光源照射并透射过所述基板的红外光来检查所述基板，其中：将所述红外光源的形状及配置设为所述相机的所述红外光源的视野利用所述相机的所述基板的视野而被覆盖的构成，并且所述基板检查装置包括指向性调整设备及强度调整设备中的至少一者，所述指向性调整设备使从所述红外光源照射至所述基板的红外光的照射方向朝向所述基板的所需方向，且所述强度调整设备调整从所述红外光源照射至所述基板的红外光的强度，使得在所述基板的端缘区域上，所述红外光的强度大于在所述基板的中央部上的所述红外光的强度。此处，“所需方向”例如是指基板的端缘方向。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。