[发明专利]检查装置

权利要求书

1.一种检查装置，其是形成有防反射膜的太阳能电池单元的检查装置，其特征在于包括：

照明部，构成为能以具有互不相同的波长区域的多种照明色来照射照明光；

摄像部，使用所述照明光拍摄所述太阳能电池单元；以及

控制部，针对所述多种照明色的每一种而获得所述太阳能电池单元的摄像图像，并且根据所述太阳能电池单元对各种所述照明色的所述照明光的反射强度或所述防反射膜的膜厚，而从各种所述照明色的所述摄像图像中选择用于检查的图像，并基于所选择的所述摄像图像而对所述太阳能电池单元进行检查。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于所述控制部构成为从各种所述照明色的多个所述摄像图像中，基于反映所述反射强度的各种所述照明色的所述摄像图像的信号强度来选择所述摄像图像，或基于所述防反射膜的膜厚来选择所述摄像图像。

3.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于所述多种照明色至少包含红色及蓝色。

4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于所述控制部构成为从各种所述照明色的多个所述摄像图像中选择信号强度相对较低的所述摄像图像，或选择与所述防反射膜膜厚对应的所述照明色的所述摄像图像。

5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的检查装置，其特征在于所述控制部构成为使用与所选择的所述摄像图像的所述照明色对应的判定阈值，对形成于所述太阳能电池单元上的所述防反射膜进行缺陷检查。

6.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的检查装置，其特征在于所述控制部构成为对所述太阳能电池单元的多个部位分别获得各种所述照明色的部位图像，且针对所述太阳能电池单元的每个所述部位而选择用于检查的所述部位图像、并基于所选择的所述部位图像进行检查。

7.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于所述控制部构成为对多个所述摄像图像的信号强度的平均值或中值进行比较，并选择平均值或中值最低的所述照明色的所述摄像图像。

8.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于所述控制部构成为通过所述照明光波长及所述太阳能电池单元的反射强度与理论曲线的拟合，而获得与各种所述照明色的所述摄像图像的信号强度对应的所述防反射膜的膜厚，并选择与包含所获得的所述防反射膜的膜厚的规定的膜厚范围对应的所述照明色的所述摄像图像。

9.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于所述控制部构成为使用将各种所述照明色的所述反射强度与所述防反射膜的膜厚建立关联的基准数据，获得与所述摄像图像的信号强度对应的所述防反射膜的膜厚，并选择与包含所获得的所述防反射膜的膜厚的规定的膜厚范围对应的所述照明色的所述摄像图像。

10.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的检查装置，其特征在于所述多种照明色包含红色、蓝色及绿色。

11.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的检查装置，其特征在于所述太阳能电池单元包含多晶半导体，且所述防反射膜为氮化硅膜。