[发明专利]检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种检查装置，特别是涉及一种太阳能电池单元(cell)的检查装置。

背景技术

以往，太阳能电池单元的检查装置为人所周知(例如，参照专利文献1)。

上述专利文献1中揭示有一种太阳能电池单元的外观检查装置，包括：照明装置、照射红外区域的波长的照明光、以及对近红外区域敏感的电荷耦合器件(charge coupled device，CCD)相机(camera)(摄像部)。从照明装置照射的红外光透射过太阳能电池单元，但在太阳能电池单元的内部存在缺陷(裂缝(crack))的情形时，在缺陷部周边，红外光因产生折射或绕射而扩散。由此，太阳能电池单元内部的缺陷部分作为利用电荷耦合器件相机的摄像图像上的信号强度的差(明暗)而被检测出。

此外，为抑制入射至基板(单元)的光的反射来谋求高效化，而在太阳能电池单元的表面上形成有防反射膜。该防反射膜的缺陷(针孔(pin hole)或附着异物)也会影响到太阳能电池单元的特性，因此以往不仅检测上述内部缺陷，也通过外观检查来检测防反射膜的缺陷(表面检查)。在进行防反射膜的外观检查的情形时，照射可见光区域的波长的照明光，并拍摄在太阳能电池单元表面反射的反射光。太阳能电池单元对垂直入射光的反射强度，在薄膜干涉的理论上，相对于由防反射膜的折射率n与膜厚d所决定的特定波长λ＝4nd而为0。对于结晶系太阳能电池而言，在折射率n＝约2.0～约2.1、膜厚d＝约80nm左右的成膜条件下形成有防反射膜，在4nd＝640nm～672nm的红色区域的波长下的反射强度达到最小。

在对形成有该防反射膜的结晶系太阳能电池单元进行外观检查(表面检查)的情形时，如果使用反射强度达到最小的红色区域的照明光进行单元表面的拍摄，则照明光几乎不反射，仅在缺陷(针孔或附着异物)部分反射照明光，因此可将缺陷部作为摄像图像中的亮点进行检测。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开平2007-78404号公报

有鉴于上述现有的检查装置存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型的检查装置，能够改进一般现有的检查装置，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

然而，因太阳能电池单元的制造步骤中的各种因素导致防反射膜的膜厚产生不均。防反射膜的膜厚(d)在与设计上的膜厚相比有变化的情形时，反射强度达到最小的特定波长(λ＝4nd)也发生变化，因此用于检查的照明光的波长与反射强度达到最小的特定波长产生偏差，从而照明光在太阳能电池单元上的反射强度增大。因此，如果对防反射膜的膜厚不均的太阳能电池单元进行外观检查，则不仅拍摄到缺陷部的反射光，还一并拍摄到来自缺陷部以外的部位的反射光，其结果，缺陷部的亮点在摄像图像中难以辨认，由此存在难以根据摄像图像来检测防反射膜的缺陷部的问题。

本发明是为解决上述问题而完成的，本发明的目的之一是提供一种检查装置，所要解决的技术问题是其即便在防反射膜的膜厚不均的情形时也可高精度地进行缺陷检测，从而更加适于实用。

为达成上述目的，本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种检查装置是形成有防反射膜的太阳能电池单元的检查装置，包括：照明部，构成为能以具有互不相同的波长区域的多种照明色照射照明光；摄像部，使用照明光拍摄太阳能电池单元；以及控制部，针对多种照明色的每一种而获得太阳能电池单元的摄像图像，并且根据太阳能电池单元对各种照明色的照明光的反射强度或防反射膜的膜厚，而从各种照明色的摄像图像中选择用于检查的图像，并基于所选择的摄像图像而对太阳能电池单元进行检查。