[发明专利]测量AR减反膜厚度和折射率的装置

权利要求书

1.一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：包括至少两个光源(1)和一个计算装置(2)，以及对应每个光源(1)的光学系统(3)、光线接收器(4)和光谱分析装置(5)，所述每个光源(1)的光线通过对应的光学系统(2)以大于0度且小于90度的倾斜角照射至AR减反膜(6)膜面同一侧的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器(4)接收，所述每个光线接收器(4)通过光纤或光路连接对应的光谱分析装置(5)，且每个光谱分析装置(5)均通过数据线最终连接计算装置(2)。

2.根据权利要求1所述的测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：所述每个光学系统(3)与对应的每个光线接收器(4)位于膜面同一侧的同一平面，并且它们与AR减反膜(6)垂直方向所成的倾斜角度相同且不重合。

3.根据权利要求1所述的测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：所述光源(1)为宽光谱的光源，且光源(1)通过光学系统后的光线为偏振光或者非偏振光。

4.根据权利要求1所述的测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：所述光学系统(3)为一种或多种光学元件组成的透射式光学系统、反射式光学系统或光纤。