[发明专利]测量AR减反膜厚度和折射率的装置

说明书

 

技术领域

本发明涉及一种光学测量装置，特别涉及一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置。

背景技术

AR减反膜通常镀在超白压延玻璃的光面，可以有效的提高光伏玻璃的透过率。目前测量AR减反膜的主要方法是使用椭偏仪。椭偏仪精度较高，但是结构复杂，价格较昂贵，而且测量速度慢，不能用于在线测量。

 

发明内容

为了克服上述缺陷，本发明提供了一种结构简单，测量速度快，测量准确测量AR减反膜厚度和折射率的装置。

本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置，包括至少两个光源和一个计算装置，以及对应每个光源的光学系统、光线接收器和光谱分析装置，所述每个光源的光线通过对应的光学系统以大于0度且小于90度的倾斜角照射至AR减反膜膜面同一侧的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器接收，所述每个光线接收器通过光纤或光路连接对应的光谱分析装置，且每个光谱分析装置均通过数据线连接计算装置。

作为本发明的进一步改进，所述每个光学系统与对应的每个光线接收器位于同一平面，并且它们与AR减反膜垂直方向所成的倾斜角度相同且不重合。

作为本发明的进一步改进，所述光源为宽光谱的光源，且光源通过光学系统后的光线为偏振光或者非偏振光。

作为本发明的进一步改进，所述光学系统为一种或多种光学元件组成的透射式光学系统、反射式光学系统或光纤。

本发明的有益效果是：本发明的AR减反膜测量装置具有结构简单，测量速度快，测量准确的特点，与椭偏仪相比，本装置无活动部件，所以运行的可靠性很高，同时信号采集速度也很高，所以可以用于在线测量。

 

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图中标示：1-光源；2-计算装置；3-光学系统；4-光线接收器；5-光谱分析装置；6-AR减反膜。

 

具体实施方式

为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例和附图对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。

图1示出了本发明一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置的一种实施方式，以两个光源和一个计算装置为例，以及对应的两个光学系统3、两个光线接收器4和两个光谱分析装置5，光谱分析装置5可以是光谱仪，但不限于光谱仪，可以是其它种类的光谱分析仪器，所述每个光源1的光线通过对应的光学系统2以大于0度且小于90度的倾斜角照射至AR减反膜6膜面的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器4接收，所述每个光线接收器4通过光纤或光路连接对应的光谱分析装置5，且每个光谱分析装置5均通过数据线最终连接计算装置2，数据线可以为各种数据线，端口也可以为各种端口；所述每个光学系统3与对应的每个光线接收器4位于同一平面，并且它们与AR减反膜6垂直方向所成的倾斜角度相同且不重合，所述光源1为宽光谱的光源，且光源1通过光学系统后的光线为非偏振光，所述光学系统3为多种光学元件组成的透射式光学系统。

如图1所示，两个光源（或两个以上光源）1所打出的宽光谱斜入射光打到AR减反膜6膜面的同一点，光线接收器4得到反射光并通过光纤或其他光学系统导入光谱分析装置5中，光谱分析装置5把各波段的光谱信号通过数据线传到计算装置2里面，计算装置2可以由光谱信号计算出ＡＲ减反膜6的膜面在两个（或两个以上，不包括零度）角度的相对于波长的反射率曲线。

计算装置2再通过预先储存的程序，对两个反射率曲线进行分析，计算出在膜厚为a, 折射率为某个波长的函数或某个常数时，膜面的反射率曲线和测量的反射率曲线最接近，从而膜的厚度和折射率被同时测得，在对测量数据进行分析时，不限定优化算法。

该装置主要用于ＡＲ减反膜的膜厚以及折射率测定，也可用于测量其他的膜的厚度或折射率。