[发明专利]单元节距可控的植球装置及植球方法有效

专利信息
申请号: 201310211762.1 申请日: 2013-05-31
公开(公告)号: CN103295919A 公开(公告)日: 2013-09-11
发明(设计)人: 刘江涛 申请(专利权)人: 三星半导体(中国)研究开发有限公司;三星电子株式会社
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 张云珠;戴嵩玮
地址: 215021 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 单元 可控 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种植球装置,所述植球装置包括:

主体(10),包括连接部分(11)、多个第一凸块(12)、与多个第一凸块(12)交叉地布置的多个第二凸块(13)、以及位于彼此相邻的第二凸块(13)之间和位于相邻的第一凸块(12)和第二凸块(13)之间的多个插入孔(14),第一凸块(12)与第二凸块(13)从连接部分(11)向下突出,插入孔(14)形成在连接部分(11)中,第一凸块(12)内部具有均匀分布的多个第一通孔(121),第二凸块(13)内部具有第二通孔(131);

吸附杆(20),设置在主体(10)上方并且具有连接杆(21)和从连接杆(21)向下突出的多个吸附管(22),连接杆(21)和吸附管(22)在内部相互连通,多个吸附管(22)分别插入到多个插入孔(14)中,以在抽真空时吸附焊球或在卸掉真空时进行植球;

多个加热部件(30),设置在位于所述多个第一凸块(12)中的多个第一通孔(121)中;

检测部件(40),设置在位于第二凸块(13)中的第二通孔(131)中,用于检测主体(10)的温度数据或者检测主体(10)的单元节距数据和目标植球区域的单元节距数据;以及

控制部件(50),与检测部件和加热部件连接并设置为与检测部件一起控制植球操作,控制部件(50)根据检测部件(40)检测到的数据控制植球装置的操作,

其中,所述多个加热部件(30)对主体(10)和吸附杆(20)进行加热以使连接部分(11)和连接杆(21)均匀变形,以调节植球装置的单元节距,控制部件(50)根据检测部件(40)检测到的数据控制加热部件(30)的加热,以对所述植球装置的单元节距进行调节。

2.如权利要求1所述的植球装置,其中,第一凸块(12)的横截面积大于第二凸块(13)的横截面积,第一凸块(12)和第二凸块(13)之间的空间形成为抽真空孔,所述抽真空孔与吸附杆(20)的吸附管(22)的位置相对应,并与插入孔(14)连通。

3.如权利要求2所述的植球装置,其中,相邻的两个第一凸块(12)之间设置有至少一个第二凸块(13)。

4.如权利要求1所述的植球装置,其中,加热部件(30)包括外壁(31)和电加热丝(32),电加热丝(32)设置在外壁(31)的内部。

5.如权利要求4所述的植球装置,其中,主体(10)、吸附杆(20)和外壁(31)由相同的材料形成。

6.如权利要求5所述的植球装置,其中,主体(10)、吸附杆(20)和外壁(31)由不锈钢制成。

7.如权利要求1所述的植球装置,其中,检测部件(40)包括温度传感器和位移传感器中的至少一种。

8.一种利用植球装置进行植球的方法,其中,所述植球装置包括如权利要求1到权利要求7中的任意一项所述的植球装置,所述植球方法包括:

(a)、准备植球区域,所述植球区域的单元节距与植球装置的主体(10)的单元节距不同;

(b)、操作控制部件(50),控制部件(50)根据所述植球区域的单元节距设定加热部件(30)所要加热到的温度;

(c)、运行加热部件(30),以加热主体(10)和吸附杆(20)使连接部分(11)和连接杆(21)同时变形,同时运行检测部件(40),以测量升温后主体(10)和吸附杆(20)的温度或者植球装置的单元节距和目标植球区域的单元节距,并将测量结果反馈给控制部件(50),直到主体的实际温度与设定的温度相同或者直到植球主体(10)的单元节距与所述植球区域的单元节距相同,保持加热部件(30)的加热使主体(10)和吸附杆(20)的温度恒定;

(d)、利用吸附管(22)进行抽真空,通过主体(10)内的低压吸附焊球;

(e)、将吸附的焊球对准所述植球区域,卸真空,同时利用吸附管(22)将焊球推到所述植球区域,完成植球。

9.如权利要求8所述的植球方法,其中,第一凸块(12)的横截面积大于第二凸块(13)的横截面积,第一凸块(12)和第二凸块(13)之间的空间形成为抽真空孔,所述抽真空孔与插入孔(14)连通。

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