[发明专利]单元节距可控的植球装置及植球方法有效
申请号: | 201310211762.1 | 申请日: | 2013-05-31 |
公开(公告)号: | CN103295919A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 刘江涛 | 申请(专利权)人: | 三星半导体(中国)研究开发有限公司;三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 张云珠;戴嵩玮 |
地址: | 215021 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单元 可控 装置 方法 | ||
1.一种植球装置,所述植球装置包括:
主体(10),包括连接部分(11)、多个第一凸块(12)、与多个第一凸块(12)交叉地布置的多个第二凸块(13)、以及位于彼此相邻的第二凸块(13)之间和位于相邻的第一凸块(12)和第二凸块(13)之间的多个插入孔(14),第一凸块(12)与第二凸块(13)从连接部分(11)向下突出,插入孔(14)形成在连接部分(11)中,第一凸块(12)内部具有均匀分布的多个第一通孔(121),第二凸块(13)内部具有第二通孔(131);
吸附杆(20),设置在主体(10)上方并且具有连接杆(21)和从连接杆(21)向下突出的多个吸附管(22),连接杆(21)和吸附管(22)在内部相互连通,多个吸附管(22)分别插入到多个插入孔(14)中,以在抽真空时吸附焊球或在卸掉真空时进行植球;
多个加热部件(30),设置在位于所述多个第一凸块(12)中的多个第一通孔(121)中;
检测部件(40),设置在位于第二凸块(13)中的第二通孔(131)中,用于检测主体(10)的温度数据或者检测主体(10)的单元节距数据和目标植球区域的单元节距数据;以及
控制部件(50),与检测部件和加热部件连接并设置为与检测部件一起控制植球操作,控制部件(50)根据检测部件(40)检测到的数据控制植球装置的操作,
其中,所述多个加热部件(30)对主体(10)和吸附杆(20)进行加热以使连接部分(11)和连接杆(21)均匀变形,以调节植球装置的单元节距,控制部件(50)根据检测部件(40)检测到的数据控制加热部件(30)的加热,以对所述植球装置的单元节距进行调节。
2.如权利要求1所述的植球装置,其中,第一凸块(12)的横截面积大于第二凸块(13)的横截面积,第一凸块(12)和第二凸块(13)之间的空间形成为抽真空孔,所述抽真空孔与吸附杆(20)的吸附管(22)的位置相对应,并与插入孔(14)连通。
3.如权利要求2所述的植球装置,其中,相邻的两个第一凸块(12)之间设置有至少一个第二凸块(13)。
4.如权利要求1所述的植球装置,其中,加热部件(30)包括外壁(31)和电加热丝(32),电加热丝(32)设置在外壁(31)的内部。
5.如权利要求4所述的植球装置,其中,主体(10)、吸附杆(20)和外壁(31)由相同的材料形成。
6.如权利要求5所述的植球装置,其中,主体(10)、吸附杆(20)和外壁(31)由不锈钢制成。
7.如权利要求1所述的植球装置,其中,检测部件(40)包括温度传感器和位移传感器中的至少一种。
8.一种利用植球装置进行植球的方法,其中,所述植球装置包括如权利要求1到权利要求7中的任意一项所述的植球装置,所述植球方法包括:
(a)、准备植球区域,所述植球区域的单元节距与植球装置的主体(10)的单元节距不同;
(b)、操作控制部件(50),控制部件(50)根据所述植球区域的单元节距设定加热部件(30)所要加热到的温度;
(c)、运行加热部件(30),以加热主体(10)和吸附杆(20)使连接部分(11)和连接杆(21)同时变形,同时运行检测部件(40),以测量升温后主体(10)和吸附杆(20)的温度或者植球装置的单元节距和目标植球区域的单元节距,并将测量结果反馈给控制部件(50),直到主体的实际温度与设定的温度相同或者直到植球主体(10)的单元节距与所述植球区域的单元节距相同,保持加热部件(30)的加热使主体(10)和吸附杆(20)的温度恒定;
(d)、利用吸附管(22)进行抽真空,通过主体(10)内的低压吸附焊球;
(e)、将吸附的焊球对准所述植球区域,卸真空,同时利用吸附管(22)将焊球推到所述植球区域,完成植球。
9.如权利要求8所述的植球方法,其中,第一凸块(12)的横截面积大于第二凸块(13)的横截面积,第一凸块(12)和第二凸块(13)之间的空间形成为抽真空孔,所述抽真空孔与插入孔(14)连通。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造