[发明专利]一种热处理装置

权利要求书

1.一种热处理装置，其特征在于，所述热处理装置(100)包括导热板(1)、至少两个冷热源(2，3，4)，所述导热板(1)用于作为导热介质连接在所述至少两个冷热源(2，3，4)与待处理产品之间以对待处理产品进行加热或冷却，所述热处理装置还包括用于选择性地将所述导热板(1)切换成与所述至少两个冷热源(2，3，4)中的一个冷热源(2，3，4)热接触的切换机构(200)。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述待处理产品为玻璃基板。

3.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述导热板(1)为真空腔均热板，所述导热板(1)具有容纳导热工质的导热腔体(90)。

4.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置包括用于向上顶推所述导热板(1)的顶推机构(11)。

5.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置包括第一冷热源(2)、第二冷热源(3)及第三冷热源(4)，所述第一冷热源(2)沿左右方向(X)位于所述第二冷热源(3)与所述第三冷热源(4)之间。

6.根据权利要求5所述的热处理装置，其特征在于，所述第一冷热源(2)具有第一热处理温度(T1)，所述第二冷热源(3)具有第二热处理温度(T2)，所述第三冷热源(4)具有第三热处理温度(T3)，所述第二热处理温度(T2)大于所述第一热处理温度(T1)，所述第一热处理温度(T1)大于所述第三热处理温度(T3)。

7.根据权利要求6所述的热处理装置，其特征在于，所述切换机构(200)包括第一线性运动气缸(6)、第二线性运动气缸(7)、第三线性运动气缸(8)，所述第一线性运动气缸(6)、所述第二线性运动气缸(7)、所述第三线性运动气缸(8)依次沿左右方向(X)设置，所述第一线性运动气缸(6)的缸体固定，所述第一线性运动气缸(6)的活塞杆的自由端固定在所述第二冷热源(3)上，所述第二线性运动气缸(7)的缸体固定在所述第二冷热源(3)上，所述第二线性运动气缸(7)的活塞杆的自由端固定在所述第一冷热源(2)上，所述第三线性运动气缸(8)的缸体固定在所述第一冷热源(2)上，所述第三线性运动气缸(8)的活塞杆的自由端固定在所述第三冷热源(4)上。

8.根据权利要求7所述的热处理装置，其特征在于，所述切换机构(200)还包括运动轨道(5)，所述第一冷热源(2)、所述第二冷热源(3)及所述第三冷热源(4)均在底部设有与所述运动轨道(5)配合的滑槽(51)。

9.根据权利要求1至8任一项所述的热处理装置，其特征在于，所述导热板(1)与所述至少两个冷热源(2，3，4)之间为凸凹褶皱接触或曲面接触。

10.根据权利要求9所述的热处理装置，其特征在于，所述导热板(1)的底部具有沿左右方向(X)延伸的多个V形凹槽(91)，所述至少两个冷热源(2，3，4)的顶部具有与所述多个V形凹槽(91)相适配的多个倒V形凸起(92)。