[发明专利]LED芯片及其制造方法在审
申请号: | 201310230275.X | 申请日: | 2013-06-11 |
公开(公告)号: | CN104241455A | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 沈佳辉;洪梓健 | 申请(专利权)人: | 展晶科技(深圳)有限公司;荣创能源科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/20 |
代理公司: | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人: | 徐丽昕 |
地址: | 518109 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | led 芯片 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种LED芯片制造方法,特别涉及利用纳米压印技术制造LED芯片的方法,还涉及一种LED芯片。
背景技术
LED(Light-emitting diode, 发光二极管)产业是近几年最受瞩目的产业之一,发展至今,LED产品已具有节能、省电、高效率、反应时间快、寿命长,且不含汞,具有环保效益等优点,因此被认为是新世代绿色节能照明的最佳光源。为了提高LED的出光量,现有技术依靠黄光制程将LED芯片侧面制作成倾斜面,以减少全反射现象的发生,增加出光量,然而,现有黄光制程的局限性使得LED芯片的底面和倾斜面的夹角大于45度,针对增加LED芯片的出光量而言,采用黄光制程制作LED芯片倾斜面的方法依然不够理想。
发明内容
有鉴于此,有必要提供一种制造底面与倾斜面夹角角度更小的LED芯片的制造方法,及底面与倾斜面夹角更小的LED芯片。
一种LED芯片制造方法,该制造方法包括步骤:提供一LED垒层结构,在LED垒层结构上涂布压印胶;提供一纳米压印模板,该纳米压印模板具有图案化结构,该图案化结构包含具有斜边与底边的梯形凹槽,且斜边与底边的夹角小于45度,将纳米压印模板压印于涂布在LED垒层结构上的压印胶上;固化压印胶,去除纳米压印模板;蚀刻带有固化后的压印胶的LED垒层结构,以去除压印胶以及部分LED垒层结构;在蚀刻后的LED垒层结构上设置电极以形成LED芯片。
一种LED芯片,包含基底,基底的一面作为底面,在远离底面的另一面上依次生长有第一半导体层、有源层和第二半导体层,电极与第一半导体层和第二半导体层电连接,LED芯片的倾斜面与底面夹角小于45度。
采用上述LED芯片制造方法制造完成的LED芯片的倾斜面与底面夹角小于45度,其可更加有效地减少全反射现象,增加LED芯片的出光量。
附图说明
图1是本发明LED芯片制造方法的流程图。
图2是本发明LED芯片制造方法的步骤一的示意图。
图3是本发明LED芯片制造方法的步骤二的示意图。
图4和图5是本发明LED芯片制造方法的步骤三的示意图。
图6和图7是本发明LED芯片制造方法的步骤四的示意图。
图8是本发明LED芯片制造方法的步骤五的示意图。
图9是纳米压印模板的示意图。
图10是利用图9的纳米压印模板制造的LED芯片的示意图。
主要元件符号说明
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