[发明专利]制造有机发光显示设备的方法和有机发光显示设备有效
申请号: | 201310236690.6 | 申请日: | 2013-06-14 |
公开(公告)号: | CN103545459B | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
发明(设计)人: | 李东规 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L27/32;H01L51/50 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人: | 韩明星,王秀君 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 有机 发光 显示 设备 方法 | ||
1.一种制造有机发光显示设备的方法,所述方法包括下述步骤:
在基板上连续地沉积线性图案的有机层,基板包括布置在一个方向上的多个面板,线性图案在所述多个面板的相邻面板之间是连续的;
在有机层上沉积第二电极;
在第二电极上形成钝化层;以及
在形成钝化层之后,从所述相邻面板的第一面板的外周区域以及从所述相邻面板的第二面板的外周区域去除有机层,其中,第二面板的外周区域沿所述一个方向与第一面板的外周区域相邻。
2.如权利要求1所述的方法,
其中,在有机层上沉积第二电极的步骤包括针对多个面板中的每个面板,在有机层上沉积第二电极,
其中,在第二电极上形成钝化层的步骤包括在第二电极上形成钝化层以覆盖第二电极。
3.如权利要求1所述的方法,
其中,在有机层上沉积第二电极的步骤包括在有机层上连续地沉积线性图案的第二电极,
其中,在第二电极上形成钝化层的步骤包括在第二电极上连续地形成线性图案的钝化层以覆盖第二电极。
4.如权利要求1所述的方法,其中,钝化层包括从由三(8-羟基喹啉铝)、苯基咔唑类化合物和芴类化合物组成的组中选择的一种以上的材料。
5.如权利要求1所述的方法,其中,在基板上连续地沉积线性图案的有机层的步骤包括:
提供包括沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片的薄膜沉积设备使得薄膜沉积设备与基板分隔开,其中,沉积源包含沉积材料,沉积源喷嘴单元布置在沉积源的侧面处并且包括多个沉积源喷嘴,图案化缝隙片布置成面向沉积源喷嘴单元并且其内形成有多个图案化缝隙;
在沉积过程中使薄膜沉积设备和基板中的至少一个相对于另一个移动;
从沉积源喷射沉积材料以穿过图案化缝隙片进行沉积并在基板上形成图案。
6.如权利要求5所述的方法,其中,图案化缝隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上比基板小。
7.如权利要求5所述的方法,
其中,所述多个沉积源喷嘴沿第一方向布置在沉积源喷嘴单元中,
其中,所述多个图案化缝隙沿第一方向布置在图案化缝隙片中,
其中,薄膜沉积设备还包括屏蔽板组件,屏蔽板组件沿第一方向布置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间,并且包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个沉积空间的多个屏蔽板。
8.如权利要求7所述的方法,其中,所述多个屏蔽板中的每个屏蔽板沿垂直于第一方向的第二方向延伸。
9.如权利要求7所述的方法,其中,屏蔽板组件包括:第一屏蔽板组件,包括多个第一屏蔽板;第二屏蔽板组件,包括多个第二屏蔽板。
10.如权利要求9所述的方法,其中,所述多个第一屏蔽板中的每个第一屏蔽板和所述多个第二屏蔽板中的每个第二屏蔽板沿垂直于第一方向的第二方向形成,并且将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个沉积空间。
11.如权利要求5所述的方法,
其中,所述多个沉积源喷嘴沿第一方向布置在沉积源喷嘴单元中,
其中,所述多个图案化缝隙沿垂直于第一方向的第二方向布置在图案化缝隙片中。
12.如权利要求11所述的方法,其中,沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片通过连接构件彼此结合而彼此一体地形成。
13.如权利要求12所述的方法,其中,连接构件引导沉积材料的流动路径。
14.如权利要求12所述的方法,其中,连接构件形成为从外部密封沉积源、沉积源喷嘴单元与图案化缝隙片之间的空间。
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