[发明专利]制造有机发光显示设备的方法和有机发光显示设备

说明书

本申请要求于2012年7月10日在韩国知识产权局提交的第10-2012-0075143号韩国专利申请的权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用包含于此。

技术领域

本发明实施例的多个方面涉及一种制造有机发光显示设备的方法和一种使用该方法制造的有机发光显示设备。

背景技术

有机发光显示设备与其它显示装置相比具有更宽的视角、更好的对比度特性以及更快的响应速度，因此作为下一代显示装置已经备受关注。

有机发光显示设备包括设置在布置成彼此相对的第一电极和第二电极之间的包括发射层的中间层。可以利用各种方法形成电极和中间层，方法之一是独立沉积法。当使用沉积法制造有机发光显示设备时，具有与将要形成的有机层的图案相同的图案的精细金属掩模（FMM）被设置成紧密地接触其上形成有有机层等的基板，并且在FMM上沉积有机层材料来形成具有期望图案的有机层。

然而，使用这种FMM的沉积法在使用大的母玻璃制造较大的有机发光显示设备方面存在着困难。例如，当使用这种大掩模时，掩模可能会由于自重而弯曲，从而使图案扭曲。这样的缺点并不有利于近来朝着高清晰图案发展的趋势。

另外，使基板和FMM对准以彼此紧密地接触的工艺、对其执行沉积的工艺以及使FMM与基板分离的工艺是耗时的，导致制造时间长且生产效率低。

在该背景技术部分公开的信息对于本发明的发明人而言在实现本发明之前是已经知晓的，或者可以包括在实现本发明的过程中获取的技术信息。因此，该信息可能包含对本领域普通技术人员而言在本国不构成已经知晓的现有技术的信息。

发明内容

根据本发明实施例的多个方面，制造有机发光显示设备的方法适合用在大基板的批量生产中并且能够实现高清晰度图案化，可以利用该方法来制造有机发光显示设备。

根据本发明的一个实施例，一种制造有机发光显示设备的方法包括：在基板上连续地沉积线性图案的有机层；在有机层上沉积第二电极；在第二电极上形成钝化层以覆盖第二电极。

在有机层上沉积第二电极的步骤可以包括针对多个面板中的每个面板，在有机层上沉积第二电极，在第二电极上形成钝化层的步骤可以包括在第二电极上形成钝化层以覆盖第二电极。

在有机层上沉积第二电极的步骤可以包括在有机层上连续地沉积线性图案的第二电极，在第二电极上形成钝化层的步骤可以包括在第二电极上连续地形成线性图案的钝化层以覆盖第二电极。

钝化层可以包括从由三(8-羟基喹啉铝)（Alq₃）、苯基咔唑类化合物和芴类化合物组成的组中选择的一种或多种材料。

在形成钝化层之后，所述方法还可以包括去除所述多个面板的相邻的面板之间的有机层。

去除相邻的面板之间的有机层的步骤可以包括通过使用包含氧（O₂）的等离子体的化学蚀刻来去除有机层。

在基板上连续地沉积线性图案的有机层的步骤可以包括：提供包括沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片的薄膜沉积设备使得薄膜沉积设备与基板分隔开，其中，沉积源包含沉积材料，沉积源喷嘴单元布置在沉积源的侧面处并且包括多个沉积源喷嘴，图案化缝隙片布置成面向沉积源喷嘴单元并且其内形成有多个图案化缝隙；在沉积过程中使薄膜沉积设备和基板中的至少一个相对于另一个移动；从沉积源喷射沉积材料以穿过图案化缝隙片进行沉积并在基板上形成图案。

图案化缝隙片可以在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上比基板小。

沉积源喷嘴可以沿第一方向布置在沉积源喷嘴单元中，图案化缝隙可以沿第一方向布置在图案化缝隙片中，薄膜沉积设备还可以包括屏蔽板组件，屏蔽板组件沿第一方向布置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间，并且包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个沉积空间的多个屏蔽板。

所述多个屏蔽板中的每个屏蔽板可以沿基本垂直于第一方向的第二方向延伸。

屏蔽板组件可以包括：第一屏蔽板组件，包括多个第一屏蔽板；第二屏蔽板组件，包括多个第二屏蔽板。

所述多个第一屏蔽板中的每个第一屏蔽板和所述多个第二屏蔽中的每个第二屏蔽板可以沿基本垂直于第一方向的第二方向形成，并且可以将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个沉积空间。

沉积源喷嘴可以沿第一方向布置在沉积源喷嘴单元中，图案化缝隙可以沿垂直于第一方向的第二方向布置在图案化缝隙片中。

沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片可以通过连接构件彼此结合而彼此一体地形成。