[发明专利]工件研磨装置

权利要求书

1.一种工件研磨装置，其包括：

研磨板，所述研磨板具有顶面，研磨布贴附于所述顶面，并且所述研磨板能够在水平面转动；

顶环，所述顶环设置于所述研磨板的上方并且能够上下移动和在水平面转动，所述顶环能够对位于所述研磨板和所述顶环之间的承载板施压，所述承载板将工件保持在底面，以将所述工件压到所述研磨板上；以及

止动件，所述止动件设置于所述顶环，所述止动件在研磨位置止挡并保持载置在所述研磨板上并且通过转动所述研磨板而移动到所述顶环的下侧的所述承载板，

所述止动件为环形并且从所述顶环的下边缘向下突出，

所述止动件具有进入部和保持部，其中，所述承载板从所述进入部移动到所述顶环的下侧，所述保持部位于所述进入部的相反侧并且止挡和保持所述承载板，

所述进入部的突出长度小于所述保持部的突出长度，以及

所述承载板经由所述进入部的底面和所述研磨板之间的间隙移动到所述顶环的下侧，并且在所述顶环向下移动直到达到从所述研磨板起的规定高度时通过所述保持部止挡和保持所述承载板，

所述进入部和所述保持部之间的台阶形壁面形成为以如下方式倾斜的倾斜面：越向所述止动件的外边缘去，所述倾斜面越向与所述承载板的旋转方向相反的方向去，

所述进入部、所述台阶形壁面和所述保持部三者连续地设置于所述顶环的下边缘。

2.根据权利要求1所述的工件研磨装置，其特征在于，

所述顶环向下移动，并且在研磨所述工件的过程中，移入环形的所述止动件的所述承载板被保持在所述止动件中。

3.根据权利要求1或2所述的工件研磨装置，其特征在于，

所述顶环包括：

上部板；以及

下部板，所述下部板具有所述止动件，通过球状支撑构件相对于所述上部板能摆动地支撑所述下部板，通过弹簧对所述下部板向上施力并且相对于所述研磨板水平地支撑所述下部板。

4.根据权利要求1或2所述的工件研磨装置，其特征在于，

所述止动件能拆卸地安装于所述顶环的底面。

5.根据权利要求1或2所述的工件研磨装置，其特征在于，

所述止动件由塑料制成。

6.根据权利要求1或2所述的工件研磨装置，其特征在于，进一步包括：

抽吸机构，所述抽吸机构用于从形成在所述顶环的底面和所述承载板的顶面之间的空间抽吸空气；以及

传感器单元，所述传感器单元用于检测如下情况：通过抽吸空气的所述抽吸机构使所述空间的气压低于规定值以及所述承载板被保持在所述顶环的底面。

7.根据权利要求1或2所述的工件研磨装置，其特征在于，

多个所述顶环设置于所述研磨板的上方并且沿所述研磨板的转动方向配置，以及

按从沿所述研磨板的转动方向离承载板投放部位最远的所述顶环到离所述承载板投放部位最近的所述顶环的顺序，将所述承载板移动到所述顶环的下侧，其中，所述承载板从所述承载板投放部位放置到所述研磨板上。