[发明专利]工件研磨装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于研磨诸如晶圆等的一个或多个工件的工件研磨装置。

背景技术

已提供了用于研磨诸如硅晶圆、蓝宝石晶圆等工件的多种研磨装置。

例如，日本特开平7-130687号公报中公开了一种研磨装置。该公开的研磨装置包括：具有顶面的研磨板，研磨布贴附于该顶面；用于在水平面旋转研磨板的驱动部分；设置在研磨板上方并且能够上下移动和在水平面转动的顶环（top ring），该顶环能够对承载板施压，承载板位于研磨板和顶环之间并且将工件保持在底面上，以将工件压到研磨板上；以及研磨液供给部分。在从研磨液供给部分供给研磨液的情况下，研磨板和顶环沿规定的方向旋转，用以研磨一个或多个工件。

此外，所述的日本特开平7-130687号公报公开了一种研磨装置，其包括：多个设置于研磨板上方并沿研磨板的转动方向配置的顶环；设置于研磨板的中心的中心辊；以及多个围绕研磨板设置的导引辊，各导引辊能够在研磨板上的位置和位于研磨板外侧的另一位置之间移动。

将说明将承载板装载到研磨盘上规定的位置的方法。

首先，将与离承载板投放部位（carrier plate setting position）最远的顶环对应的导引辊移动到研磨板上的位置，其中承载板从承载板投放部位被放置到研磨板上，然后将承载板从承载板投放部位放置到研磨板上，以传输承载板。通过转动研磨板来传输承载板。当承载板的外边缘接触中心辊和相应的导引辊时，承载板被止挡并保持在相应的顶环下方的接触位置。

接着，同样将与邻近最远顶环的顶环相对应的导引辊移动到研磨板上的位置。然后，传输承载板，直到承载板接触中心辊和相应的导引辊为止，承载板被止挡并保持在相应的顶环下方的接触位置。此外，分别将承载板传输到相应的顶环下方的位置。然后，向下移动顶环以将由承载板保持的工件压在研磨布上。通过在供给研磨液的情况下转动研磨板和顶环，能够研磨工件。

在上述研磨装置中，能够自动将已贴附有工件的承载板传输到研磨板上的位置，各承载板顺次地位于相应的顶环的下方。

然而，在上述传统的研磨装置中，必须设置能够在研磨板上的位置和位于研磨板外侧的另一位置之间移动的多个导引辊，所以研磨装置的尺寸必然大并且装置的结构必然复杂。

发明内容

因此，本发明的目标是提供一种能够解决传统研磨装置的上述问题的工件研磨装置。即，能够减小本发明的工件研磨装置的尺寸，并且能够简化装置的结构。

为了实现该目标，本发明的工件研磨装置具有下列结构。

即，本发明的工件研磨装置包括：

研磨板，所述研磨板具有顶面，研磨布贴附于所述顶面，并且所述研磨板能够在水平面转动；

顶环，所述顶环设置于所述研磨板的上方并且能够上下移动和在水平面转动，所述顶环能够对位于所述研磨板和所述顶环之间的承载板施压，所述承载板将工件保持在底面，以将所述工件压到所述研磨板上；以及

止动件，所述止动件设置于所述顶环，所述止动件在研磨位置止挡并保持载置在所述研磨板上并且通过转动所述研磨板而移动到所述顶环的下侧的所述承载板。

优选地，所述止动件为环形并且从所述顶环的下边缘向下突出，

所述止动件具有进入部和保持部，其中，所述承载板从所述进入部移动到所述顶环的下侧，所述保持部位于所述进入部的相反侧并且止挡和保持所述承载板，

所述进入部的突出长度小于所述保持部的突出长度，以及

所述承载板经由所述进入部的底面和所述研磨板之间的间隙移动到所述顶环的下侧，并且在所述顶环向下移动直到达到从所述研磨板起的规定高度时通过所述保持部止挡和保持所述承载板。

优选地，所述进入部和所述保持部之间的台阶形壁面形成为以如下方式倾斜的倾斜面：越向所述止动件的外边缘去，所述倾斜面越向与所述承载板的旋转方向相反的方向去。

优选地，所述顶环向下移动，并且在研磨所述工件的过程中，移入环形的所述止动件的所述承载板被保持在所述止动件中。

优选地，所述顶环包括：

上部板；以及

下部板，所述下部板具有所述止动件，通过球状支撑构件相对于所述上部板能摆动地支撑所述下部板，通过弹簧对所述下部板向上施力并且相对于所述研磨板水平地支撑所述下部板。

优选地，所述止动件能拆卸地安装于所述顶环的底面。

优选地，所述止动件由塑料制成。

优选地，所述工件研磨装置进一步包括：