[发明专利]一种多晶硅C角毛刷抛光机无效
申请号: | 201310239607.0 | 申请日: | 2013-06-18 |
公开(公告)号: | CN103286655A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 吴建飞 | 申请(专利权)人: | 南通综艺新材料有限公司 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 张惠忠 |
地址: | 226300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 毛刷 抛光机 | ||
1.一种多晶硅C角毛刷抛光机,用于抛光多晶硅C角多晶硅;包括V形槽、抛光头、转动轴,所述抛光头设置在V形槽的底部,且抛光头与转动轴的动力输出端联动连接,其特征在于:所述抛光头包括转动盘和毛刷,所述毛刷设置在转动盘上,所述转动盘和转动轴固定连接。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅C角毛刷抛光机,其特征在于:所述毛刷包括柱状底部支座和刷头,所述刷头通过柱状底部支座与转动盘固定连接。
3.如权利要求2所述的一种多晶硅C角毛刷抛光机,其特征在于:所述转动盘上设置有若干相对于转动圆盘圆心环形等距排布的安装孔,所述毛刷通过柱状底部支座安装在安装孔内。
4.如权利要求2所述的一种多晶硅C角毛刷抛光机,其特征在于:所述毛刷的数量至少为4个。
5.如权利要求2所述的一种多晶硅C角毛刷抛光机,其特征在于:所述柱状底部支座为SUS304材质。
6.如权利要求1所述的一种多晶硅C角毛刷抛光机,其特征在于:所述刷头为碳化硅材质。
7.如权利要求6所述的一种多晶硅C角毛刷抛光机,其特征在于:所述刷头的碳化硅材质的颗粒度为800号。
8.如权利要求1所述的一种多晶硅C角毛刷抛光机,其特征在于:所述刷头的刷毛通过胶水固结。
9.如权利要求1所述的一种多晶硅C角毛刷抛光机,其特征在于:所述转动盘为铝合金材质。
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