[发明专利]一种多晶硅C角毛刷抛光机

说明书

技术领域

本发明涉及一种多晶硅C角毛刷抛光机，属于多晶硅材料加工领域。

背景技术

多晶硅棒经过砂轮倒角后，边缘表面有稜角毛刺崩边甚至有裂缝或其它缺陷，边缘表面比较粗糙，需要另外工序对其进行抛光加工，传统的抛光工艺精度无法保证，而且抛光质量也不高。

发明内容

本发明通过一个毛刷来取代传统倒角机的砂轮机构，从而实现多晶硅C角的高精度高光滑度的打磨。

本发明是通过如下方法实现的：

一种多晶硅C角毛刷抛光机，用于打磨加工多晶硅；包括V形槽、抛光头、转动轴，所述抛光头设置在V形槽的底部，且抛光头与转动轴的动力输出端联动连接，所述抛光头包括转动盘和毛刷，所述毛刷设置在转动盘上，所述转动盘和转动轴固定连接。

作为本发明的进一步创新，一种多晶硅C角毛刷抛光机，所述毛刷包括柱状底部支座和刷头，所述刷头通过柱状底部支座与转动盘固定连接。

作为本发明的进一步创新，所述转动盘上设置有若干相对于转动圆盘圆心环形等距排布的安装孔，所述毛刷通过柱状底部支座安装在安装孔内。

作为本发明的进一步创新，所述毛刷的数量至少为4个。

作为本发明的进一步创新，所述柱状底部支座为SUS304材质。

作为本发明的进一步创新，所述刷头为碳化硅材质。

作为本发明的进一步创新，所述刷头的碳化硅材质的颗粒度为800号。

作为本发明的进一步创新，所述刷头的刷毛通过胶水固结。

作为本发明的进一步创新，所述转动盘为铝合金材质。

本发明的有益效果在于：

1.通过毛刷来取代传统的砂轮对多晶硅进行倒角加工，砂轮机倒角后的多晶硅边缘表面有稜角毛刺崩边甚至有裂缝或其它缺陷，边缘表面比较粗糙，为了增加切片后硅片的合格率，减少倒角处崩边，亮点，及硅棒倒角处边缘裂纹，就要将其砂轮倒角后再用毛刷抛光，以此提高线切生产切片的合格率和降低运行成本。 

2.底部支座和转动盘连接的方式，方便了设备的后期的维护，减少了转动盘和传动轴经常性拆装导致的磨损、精度降低，更进一步的节省了成本，毛刷采用刚性金属块来与转动盘连接，降低了毛刷损坏的几率，同时降低了刷毛的成本。

3.通过在转动盘上加工通孔来安装毛刷，方便了毛刷的拆装。

4.通过多个毛刷头旋转对多晶硅进行抛光加工，节省了成本，同时方便刷头单个的替换和维护，也便于加工产生的碎屑的排走，而不会整体性的积累于刷头之上，影响加工的质量。

5.毛刷定做采用SUS304材质，具有高的耐蚀性，在低温、室温及高温下均有较高的塑归和韧性，以及较好的冷作成型和焊接性，使毛刷的使用寿命大大提供，同时也降低了毛刷底座的制作成本。

6.采用800号的碳化硅材质的毛刷，具有良好的导热性，有效的防止抛光过程中温度过高对多晶硅造成的损坏，同时碳化硅材质具有良好的化学耐受性，可以适应复杂的工作环境，碳化硅材质的毛刷还具有较长的使用寿命，可以有效的降低加工的成本。

7.毛刷通过胶水固结，防止毛刷在加工过程中的散开，影响加工质量。

8.转动盘采用铝合金材质，既耐用具有抗锈性能，同时也具有良好的机械加工性。

附图说明

图1为本发明多晶硅C角毛刷抛光器的抛光头的示意图。

图2为本发明多晶硅C角毛刷抛光器的毛刷的示意图。

图中：1.底部支座、2.刷头、3.毛刷安装孔、4.转动轴安装孔、5.转动盘、L.刷头的直径。

具体实施方式

如图1、图2所示，本发明针对传统的多晶硅倒角打磨机进行改造，在打磨机的V形槽内，将原有的砂轮机的砂轮盘采用软毛刷抛光头进行替换，本发明的抛光头部分包括转动盘5以及安装在转动盘上的六个毛刷，毛刷通过六个毛刷安装孔3安装于转动盘5之上，毛刷包括底部支座1和刷头2两个部分，六个毛刷安装孔3相对于转动盘5中心部的转动轴安装孔4环形阵列排布，本发明中的毛刷选取颗粒度为800号碳化硅材料制成使毛刷具有良好的化学耐受性和散热性，刷毛的直径为0.7mm并且刷毛之间通过胶水来进行固化，以保证毛刷工作的稳定性，毛刷的底部支座1采用SUS304钢制成，具有良好的散热性和稳定性，毛刷的直径为L，毛刷的刷头2与底部支座1之间采用特殊的工艺进行粘合连接以保证工作时毛刷的稳定性，底部支座1与转动盘5的毛刷安装孔3过盈配合，相比于螺纹，此配合方式可以保证转动时的毛刷的稳定性，通过本发明的软毛刷替换原有的砂轮进行多晶硅C角的抛光加工，消除了原来的硬质砂轮在打磨时对多晶硅产生的压力性破坏导致的边缘表面的稜角毛刺崩边甚至有裂缝或其它缺陷、边缘表面比较粗糙等问题，可以使产品合格率提高百分之0.5个百分点，具有良好的社会效益。