[发明专利]视觉误差校正方法

权利要求书

1.一种视觉误差校正方法，其特征在于，适于校正激光加工装置的多个视觉定位误差，而该视觉误差校正方法包括：

(a)提供对位图案，该对位图案具有至少一对位点；

(b)使该对位图案的预设点位于工作区域的第一预设位置上，该对位图案在图像感测单元的可视区域上形成对位图案图像，且该预设点在该可视区域上形成的预设图像点位于该可视区域的预设位置上，其中该工作区域具有多个第二预设位置；

(c)使该对位图案的至少一该对位点位于其中一该第二预设位置上；

(d)调整振镜扫描模块的多个参数，使该至少一该对位点在该可视区域上形成的对位图像点位于该可视区域的该预设位置上，且记录该振镜扫描模块的该些参数；以及

(e)使该对位图像点陆续地相对移动至该可视区域的多个位置上，并分别记录该对位图像点在该可视区域的该些位置、该对位点在该工作区域中的位置以及该振镜扫描模块的该些参数，以制作该工作区域所属的对位表。

2.根据权利要求1所述的视觉误差校正方法，其特征在于，执行步骤(a)的方法包括：以激光源在激光加工试片上进行加工，以形成该对位图案。

3.根据权利要求1所述的视觉误差校正方法，其特征在于，执行步骤(b)的方法包括：

使该对位图案的该预设点位于该工作区域的该第一预设位置上；以及

调整分光镜的角度参数，使该预设点在该可视区域上形成的该预设图像点位于该可视区域的该预设位置上。

4.根据权利要求1所述的视觉误差校正方法，其特征在于，该对位图案位于该工作区域的移动平台上。

5.根据权利要求4所述的视觉误差校正方法，其特征在于，执行步骤(c)的方法包括：使该移动平台相对于该工作区域移动。

6.根据权利要求4所述的视觉误差校正方法，其特征在于，执行步骤(e)的方法包括：使该移动平台相对于该工作区域移动。

7.根据权利要求1所述的视觉误差校正方法，其特征在于，该至少一对位点为多个对位点，各该对位点分别位于该对位图案的多个子对位图案上，该些子对位图案对称分布于校正试片上。

8.根据权利要求7所述的视觉误差校正方法，其特征在于，各该对位点也为各该子对位图案的中心。

9.根据权利要求7所述的视觉误差校正方法，其特征在于，还包括在执行步骤(a)之前的归零校正步骤，该归零校正步骤包括：

在激光加工试片上形成归零对位图案；

使该归零对位图案的校正点位于该工作区域的该第一预设位置上；以及

调整分光镜的角度参数，使该校正点在该可视区域上形成的校正图像点位于该可视区域的该预设位置上。

10.根据权利要求7所述的视觉误差校正方法，其特征在于，该校正点为该归零对位图案的中心。

11.根据权利要求7所述的视觉误差校正方法，其特征在于，在执行步骤(b)之前，该视觉误差校正方法还包括：

调整该振镜扫描模块的该些参数，使位于该校正试片的固定方向上的各子对位图案的各该对位点分别在该可视区域内先后形成各该对位图像点；以及

调整该校正试片的角度，并调整该振镜扫描模块的该些参数，以使先后进入该可视区域内的该些对位图像点的连线平行于该可视区域的坐标轴方向。

12.根据权利要求7所述的视觉误差校正方法，其特征在于，执行步骤(c)的方法包括：调整该校正试片的位置，使各该对位点与该工作区域的各该第二预设位置重合。

13.根据权利要求7所述的视觉误差校正方法，其特征在于，执行步骤(e)的方法包括：调整该振镜扫描模块的该些参数。

14.根据权利要求1所述的视觉误差校正方法，其特征在于，该振镜扫描模块包括聚焦镜以及二反射镜，且该振镜扫描模块的该些参数为该些反射镜的角度参数或位置参数。

15.根据权利要求1所述的视觉误差校正方法，其特征在于，该预设点、该第一预设位置与该预设位置分别为该对位图案、该工作区域与该可视区域的中心，且该对位点也为该对位图案的中心。