[发明专利]视觉误差校正方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种校正方法，且特别是有关于一种视觉误差校正方法。

背景技术

在许多先进材料加工工艺与精密加工工艺中，传统加工技术已不能够满足需求，而需借助激光微加工技术，才能适应工艺所需。精密加工工艺中，视觉定位功能也是精密加工的手段之一。

一般而言，振镜的激光加工系统其控制的方法是利用反射镜片来改变激光束的入射角度，将激光束控制在工件的预加工位置。搭配同轴视觉技术，加工物可在电荷耦合元件(Charge-coupled Device，CCD)上进行成像，来达成视觉定位的功能，由于激光束与可见光波段不同，造成激光束的光轴与可见光的光轴不同，因而产生光程误差或其它可能的误差。这些误差会使电荷耦合元件上的图像有视觉误差的产生，进而降低视觉的定位精度。

因此，激光同轴视觉模块的视觉误差问题，实在为目前研发人员关注的重要课题。

发明内容

本发明的一实施例的一种视觉误差校正方法适于校正激光加工装置的多个视觉定位误差，其包括：提供对位图案，对位图案具有至少一对位点；使对位图案的预设点位于工作区域的第一预设位置上，对位图案在图像感测单元的可视区域上形成对位图案图像，且预设点在可视区域上形成的预设图像点位于可视区域的预设位置上，其中工作区域具有多个第二预设位置；使对位图案的至少一对位点位于其中一第二预设位置上；调整振镜扫描模块的多个参数，使至少一对位点在可视区域上形成的对位图像点位于可视区域的预设位置上，且记录振镜扫描模块的这些参数；使对位图像点陆续地相对移动至可视区域的多个位置上，并分别记录对位图像点在可视区域的这些位置、对位点在工作区域中的多个位置以及振镜扫描模块的这些参数，以制作工作区域所属的对位表。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。

附图说明

图1是本发明一实施例的一种视觉误差校正方法的流程图。

图2是本发明一实施例的一种激光加工装置的架构示意图。

图3A是图1的实施例的部分视觉误差校正方法的流程图。

图3B是图2的一种振镜扫描模块的架构示意图。

图3C是图3A的实施例的一种对位图案正视示意图。

图3D是图3A的实施例的工作区域正视示意图。

图3E是图3A的实施例的对位图案图像在可视区域的正视示意图。

图4A是图1的实施例的对位图案在工作区域观测坐标系内的正视示意图。

图4B是图2的一种移动平台的侧视示意图。

图4C是图1的实施例的工作区域位于移动平台上的正视示意图。

图4D与图4E是图4A的对位图案图像在不同可视区域观测坐标系上的正视示意图。

图5A是图1的实施例的对位图案的动作路径示意图。

图5B是图5A的对位图案图像在可视区域上的正视示意图。

图5C是图5A的对位图案的动作路径示意图。

图5D是图5C的对位图案图像在可视区域上的正视示意图。

图6是本发明另一实施例的一种视觉误差校正方法的流程图。

图7是本发明另一实施例的一种激光加工装置的架构示意图。

图8是图6的实施例的一种对位图案正视示意图。

图9A至图9E是图6的实施例的一种对位图案位置的校正方法的流程示意图。

图10A是图6的实施例的工作区域观测坐标系以及可视区域观测坐标系间的相对动作路径示意图。

图10B与图10C是图10A中的一子对位图案图像在不同可视区域观测坐标系上的正视示意图。

图11A是图6的实施例的工作区域观测坐标系以及可视区域观测坐标系间的相对动作路径示意图。

图11B与图11C是图11A中的子对位图案图像在不同可视区域观测坐标系上的正视示意图。

【符号说明】

60：激光；

70：可见光；

100、200：激光加工装置；

110：激光源；

120：振镜扫描模块；

121：聚焦镜；

123、125：反射镜；

122、124：旋转机构；

130：分光镜；

140：图像感测单元；

150：移动平台；

160：控制单元；

T：校正点；