[发明专利]计算待测元件的轮廓数据的方法无效

专利信息
申请号: 201310246412.9 申请日: 2013-06-20
公开(公告)号: CN103278127A 公开(公告)日: 2013-09-04
发明(设计)人: 廖建硕;徐国祥 申请(专利权)人: 爱司帝光电科技(苏州)有限公司
主分类号: G01B21/20 分类号: G01B21/20
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 梁挥;王颖
地址: 215105 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 计算 元件 轮廓 数据 方法
【权利要求书】:

1.一种计算待测元件的轮廓数据的方法,通过一测量装置所运算,其特征在于,该待测元件由一第一元件及一第二元件所组成,该方法包括:

a)该测量装置分别测量取得该第一元件的质心以及该第二元件的质心;

b)该测量装置规划一质心线,其连接该第一元件的质心与该第二元件的质心;

c)该测量装置规划一第一基准线,其中该第一基准线垂直于该质心线,并且该第一基准线通过该第一元件的质心;

d)该测量装置规划至少一垂直线,其中该垂直线垂直于该第一基准线,并且该垂直线不与垂直于该第一基准线的任何一条线相重叠,其中该垂直线与该第一元件的轮廓周缘产生至少二交点,该测量装置经计算得出该至少二交点的坐标数据;

e)记录该至少二交点的坐标数据;及

f)该测量装置依据所记录的所有点位的坐标数据,定义该待测元件的轮廓。

2.根据权利要求1所述的计算待测元件的轮廓数据的方法,其特征在于,该第一元件与该第二元件凸出于该待测元件的表面,为该待测元件上的两个分开的凸出物,该第一元件及该第二元件的底部相连,并且具有固定的相对位置。

3.根据权利要求1所述的计算待测元件的轮廓数据的方法,其特征在于,该测量装置具有一影像撷取单元及一微处理单元,并且该步骤a更包括下列步骤:

a1)通过该影像撷取单元分别为该第一元件与该第二元件的实体撷取对应的元件影像;及

a2)通过该微处理单元对该二元件影像进行计算,藉以由该二元件影像中找出该第一元件的该质心以及该第二元件的该质心。

4.如权利要求3所述的计算待测元件的轮廓数据的方法,其特征在于,该影像撷取单元为一电荷耦合元件,该微处理单元通过Labview软件对该二元件影像进行演算法的计算。

5.根据权利要求3所述的计算待测元件的轮廓数据的方法,其特征在于,该步骤b中,该质心线与该第一元件的轮廓周缘相交至少一交点,并且该质心线与该第二元件的轮廓周缘相交至少二交点,该测量装置经计算得出该至少三交点的坐标数据,并且同时记录该三交点的坐标数据。

6.根据权利要求5所述的计算待测元件的轮廓数据的方法,其特征在于,该步骤c中,该第一基准线与该第一元件的轮廓左侧产生一左交点,并且该第一基准线与该第一元件的轮廓右侧产生一右交点,该测量装置经计算得出该左交点及该右交点的坐标数据,并且该测量装置同时记录该左交点及该右交点的坐标数据。

7.根据权利要求6所述的计算待测元件的轮廓数据的方法,其特征在于,该步骤c之后更包括下列步骤:

c1)计算该第一元件的质心与该左交点之间的一第一中心点;及

c2)计算该第一元件的质心与该右交点之间的一第二中心点。

8.根据权利要求7所述的计算待测元件的轮廓数据的方法,其特征在于,该步骤c之后包括下列步骤:

c3)该测量装置寻找该第一元件的轮廓右侧的一缺陷弧线的中点;

c4)将该第一基准线进行向上平移,令该第一基准线通过该缺陷弧线的中点,并保持与该质心线垂直;

c5)该平移后的第一基准线与该第一元件的轮廓左侧产生一左交点,并且与该第一元件的轮廓右侧产生一右交点,该测量装置经计算得出该左交点及该右交点的坐标数据,并且该测量装置同时记录该左交点及该右交点的坐标数据,其中该右交点为该缺陷弧线的中点。

9.根据权利要求7所述的计算待测元件的轮廓数据的方法,其特征在于,该步骤d更包括下列步骤:

d1)规划一第一垂直线,其中该第一垂直线垂直于该第一基准线并且通过该第一中心点,该第一垂直线与该第一元件的轮廓周缘相交至少二交点,该测量装置经计算得出该二交点的坐标数据,并且该测量装置记录该二交点的坐标数据;及

d2)规划一第二垂直线,其中该第二垂直线垂直于该第一基准线并且通过该第二中心点,该第二垂直线与该第一元件的轮廓周缘相交至少二交点,该测量装置经计算得出该二交点的坐标数据,并且该测量装置记录该二交点的坐标数据。

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