[发明专利]动压浮离抛光盘动压浮离位置精密调整机构

权利要求书

1.一种动压浮离抛光盘动压浮离位置精密调整机构，所述抛光盘与主轴下端连接，其特征在于：所述调整机构包括机架、微动升降器、L压块、限位轴套和弹簧，电机轴穿过所述L压块的通孔，所述L压块与推力球轴承的上部抵触，所述推力球轴承套装在所述电机轴外，且所述推力球轴承下部安装在所述限位轴套的内壁，所述电机轴的下部位于所述限位轴套内，所述电机轴与所述限位轴套通过键可上下移动地连接，所述限位轴套的下部位于花键轴内，所述限位轴套与所述花键轴通过键可上下移动地连接，所述主轴上端安装在所述花键轴内，所述花键轴内套装弹簧，所述弹簧的上端顶在所述限位轴套的下端，所述弹簧的下端顶在所述主轴上；所述L压块与所述微动升降器的动作端连接，所述微动升降器、花键轴均安装在机架上。

2.如权利要求1所述的动压浮离抛光盘动压浮离位置精密调整机构，其特征在于：所述花键轴内壁设有台阶，所述主轴上端与所述台阶持平，所述主轴上端与锁紧螺母连接，所述锁紧螺母与所述台阶之间设有止动垫圈。