[发明专利]一种谐振子的制备方法、谐振子、滤波器件、电磁设备

权利要求书

1.一种谐振子的制备方法，其特征在于，包括：

将介质谐振子置于蒸发镀设备中；

将所述蒸发镀设备抽真空到预定气压值；

使镀膜靶材升温蒸发，使沉积在所述介质谐振子上的镀膜层达到指定厚度，得到谐振子。

2.如权利要求1所述的谐振子的制备方法，其特征在于，将介质谐振子置于蒸发镀设备中之前，对所述介质谐振子进行镀膜前预处理。

3.如权利要求2所述的谐振子的制备方法，其特征在于，所述镀膜前预处理具体包括：

将所述介质谐振子进行抛光；

对抛光后的所述介质谐振子进行清洁。

4.如权利要求3所述的谐振子的制备方法，其特征在于，所述清洁使用的清洁剂包括乙醇或丙酮或丁酮。

5.如权利要求1所述的谐振子的制备方法，其特征在于，所述介质谐振子置于蒸发镀设备中，包括将至少一个所述介质谐振子置于所述蒸发镀设备内的转动装置上。

6.如权利要求1所述的谐振子的制备方法，其特征在于，所述激发镀膜靶材，使沉积在所述介质谐振子上的镀膜层达到指定厚度后，还包括：冷却所述谐振子。

7.一种谐振子，其特征在于，为由权1至6任一项所述的方法制得的谐振子。

8.一种滤波器件，其特征在于，包括谐振腔和位于所述谐振腔中的谐振子，至少其中一个谐振腔中的谐振子为权利要求7所述的谐振子。

9.根据权利要求8所述的滤波器件，其特征在于，所述滤波器件为滤波器或双工器。

10.一种电磁设备，其特征在于，包括信号发射模块、信号接收模块以及滤波器件，所述滤波器件的输入端与所述信号发射模块连接，输出端与信号接收模块连接，所述滤波器件为如权利要求8至9任一项所述的滤波器件。

11.如权利要求10所述的电磁设备，其特征在于，所述电磁设备为通信系统、导航系统、定位系统、追踪系统或测量系统。

12.如权利要求10所述的电磁设备，其特征在于，所述电磁设备为飞行器、雷达、卫星、车、船或基站。