[发明专利]展平装置及磁控溅射卷绕镀膜设备

权利要求书

1.一种展平装置，其特征在于，包括：

展平辊，所述展平辊呈中空密闭状且充入气体后可膨胀，所述展平辊内部设有旋转轴，且所述旋转轴的轴向长度大于所述展平辊的轴向长度；

气管，所述气管的一端与所述展平辊连通；

充气泵，所述充气泵的一端与所述气管的另一端连通，气体通过所述气管进入所述展平辊；

动力装置，所述动力装置的输出端通过所述旋转轴与所述展平辊连接，带动所述展平辊旋转。

2.根据权利要求1所述的展平装置，其特征在于，所述展平辊包括：展平辊外壳、旋转承接管及可充气的膨胀轴，所述膨胀轴位于所述展平辊外壳所形成的腔室内，所述膨胀轴呈中空密闭状且充入气体后可膨胀，所述膨胀轴膨胀后抵持于所述展平辊外壳的内侧壁，并使所述展平辊外壳随着所述膨胀轴膨胀而膨胀，所述膨胀轴通过所述旋转承接管与所述气管连通，所述旋转承接管随所述旋转轴和所述膨胀轴旋转而旋转。

3.根据权利要求2所述的展平装置，其特征在于，所述展平辊外壳为橡胶外壳，所述膨胀轴为橡胶膨胀轴。

4.根据权利要求2所述的展平装置，其特征在于，所述膨胀轴的壁厚由中间部分向两端逐渐增大，以使膨胀轴中间部分的膨胀度高于两端，且两端的壁厚分布关于中间部分轴对称。

5.根据权利要求1所述的展平装置，其特征在于，所述气管为橡胶气管，且所述气管可承受压力大于充气泵输出气体的最大压力。

6.根据权利要求1所述的展平装置，其特征在于，还包括控制模块，所述控制模块与所述动力装置电连接，通过所述控制模块可调节所述动力装置的转动模式。

7.根据权利要求1所述的展平装置，其特征在于，还包括轴套，所述轴套的一端固定于镀膜设备腔室内壁，所述轴套的另一端套设于所述旋转轴，将所述展平辊固定至所述镀膜设备腔室内壁。

8.根据权利要求1所述的展平装置，其特征在于，所述充气泵为手动式充气泵。

9.一种磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于，包括收卷装置和放卷装置，所述收卷装置周期性的旋转以收卷，所述放卷装置与所述收卷装置以相同旋转速度周期性的旋转以放卷，还包括如权利要求1至8中任意一项所述的展平装置，所述展平装置位于所述收卷装置和所述放卷装置之间。

10.根据权利要求9所述的磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于，还包括张力辊，所述张力辊提供张力，所述张力辊位于所述收卷装置和所述放卷装置之间且位于所述展平装置工位之前。