[发明专利]展平装置及磁控溅射卷绕镀膜设备有效
申请号: | 201310255834.2 | 申请日: | 2013-06-25 |
公开(公告)号: | CN103320759A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 李晨光 | 申请(专利权)人: | 南昌欧菲光科技有限公司;深圳欧菲光科技股份有限公司;苏州欧菲光科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/56 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 邓云鹏 |
地址: | 330000 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平装 磁控溅射 卷绕 镀膜 设备 | ||
技术领域
本发明涉及磁控溅射卷绕镀膜设备辅助设备,特别是涉及一种用于磁控溅射卷绕镀膜设备的展平装置及一种应用该展平装置的磁控溅射卷绕镀膜设备。
背景技术
基于柔性基底材料如聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethylene terephthalate,PET)等的柔性电子(flexible electronics)技术近年来得到迅猛发展。采用真空磁控溅射镀膜技术在以塑料薄膜为主的柔性成卷基底材料上沉积单层或多层金属、金属合金或介质等具有调光作用的纳米材料,每层纳米材料的厚度在十几至几十纳米之间,所形成的产品具有可镀材料多样,横向均匀性好,产品光学特性可调的优点。
目前,柔性基底材料随着触摸屏行业的技术革新而迅速发展起来,常用的基材厚度一般为188μm、125μm、50μm。随着触摸屏技术水平的逐渐提高,对基材厚度的要求也逐步增高。柔性基材镀膜一般采用卷绕式镀膜技术实现,然而柔性基材卷绕镀膜时所使用的基材厚度越大,镀膜难度也将增大,故而50μm厚度的基材越来越受到触摸屏行业的青睐。但是基材厚度太小,又容易导致镀膜过程中产生皱褶,从而降低生产良率及质量。
发明内容
基于此,有必要针对镀膜过程中柔性基材容易产生皱褶的问题,提供一种可以防止柔性基材在镀膜过程中产生皱褶的展平装置及应用改展平装置的磁控溅射卷绕镀膜设备。
一种展平装置,包括:
展平辊,所述展平辊呈中空密闭状且充入气体后可膨胀,所述展平辊内部设有旋转轴,且所述旋转轴的轴向长度大于所述展平辊的轴向长度;
气管,所述气管的一端与所述展平辊连通;
充气泵,所述充气泵的一端与所述气管的另一端连通,气体通过所述气管进入所述展平辊;
动力装置,所述动力装置的输出端通过所述旋转轴与所述展平辊连接,带动所述展平辊旋转。
在其中一个实施例中,所述展平辊包括:展平辊外壳、旋转承接管及可充气的膨胀轴,所述膨胀轴位于所述展平辊外壳所形成的腔室内,所述膨胀轴呈中空密闭状且充入气体后可膨胀,所述膨胀轴膨胀后抵持于所述展平辊外壳的内侧壁,并使所述展平辊外壳随着所述膨胀轴膨胀而膨胀,所述膨胀轴通过所述旋转承接管与所述气管连通,所述旋转承接管随所述旋转轴和所述膨胀轴旋转而旋转。
在其中一个实施例中,所述展平辊外壳为橡胶外壳,所述膨胀轴为橡胶膨胀轴。
在其中一个实施例中,所述膨胀轴的壁厚由中间部分向两端逐渐增大,以使膨胀轴中间部分的膨胀度高于两端,且两端的壁厚分布关于中间部分轴对称。
在其中一个实施例中,所述气管为橡胶式气管,且所述气管可承受压力大于充气泵输出气体的最大压力。
在其中一个实施例中,还包括控制模块,所述控制模块与所述动力装置电连接,通过所述控制模块可调节所述动力装置的转动模式。
在其中一个实施例中,还包括轴套,所述轴套的一端固定于镀膜设备腔室内壁,所述轴套的另一端套设于所述旋转轴,将所述展平辊固定至所述镀膜设备腔室内壁。
在其中一个实施例中,所述充气泵为手动式充气泵。
一种磁控溅射卷绕镀膜设备,包括收卷装置和放卷装置,所述收卷装置周期性的旋转以收卷,所述放卷装置与所述收卷装置以相同旋转速度周期性的旋转以放卷,还包括如以上所述的展平装置,所述展平装置位于所述收卷装置和所述放卷装置之间。
在其中一个实施例中,还包括张力辊,所述张力辊提供张力,所述张力辊位于所述收卷装置和所述放卷装置之间且位于所述展平装置工位之前。
上述展平装置及应用该展平装置的磁控溅射卷绕镀膜设备工作时,动力装置为展平辊提供动力,使展平辊连续地旋转;充气泵通过气管向中空密闭状的展平辊内充入气体,展平辊充入气体后膨胀;在镀膜的过程中,柔性基材周期性地由放卷装置放卷,收卷装置收卷,充入气体后膨胀的展平辊连续地旋转且直接与柔性基材接触,从而对柔性基材产生压力,可防止柔性基材在镀膜过程中产生皱褶,从而提高生产良率及质量。
附图说明
图1为展平装置的结构示意图;
图2为应用有图1的磁控溅射卷绕镀膜设备的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进,因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。
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