[发明专利]测试结构序列号的设计方法及测试结构序列号在审
| 申请号： | 201310261361.7 | 申请日： | 2013-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN104253112A | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 宝志强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测试 结构 序列号 设计 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种测试结构序列号的设计方法，所述测试结构序列号设置于测试区域，其特征在于，包括：
选择多个辅助图形，所述辅助图形符合设计规则；
利用所述辅助图形或者辅助图形排列的间隙形成所述测试结构序列号。
2.如权利要求1所述的测试结构序列号的设计方法，其特征在于，所述多个辅助图形至少包括一种形状的多边形。
3.如权利要求1所述的测试结构序列号的设计方法，其特征在于，所述同一层结构上的多个辅助图形排列形成所述测试结构序列号。
4.如权利要求3所述的测试结构序列号的设计方法，其特征在于，在有源区层、多晶硅层及金属层中形成所述测试结构序列号。
5.如权利要求4所述的测试结构序列号的设计方法，其特征在于，所述金属层至少包括一层。
6.如权利要求1所述的测试结构序列号的设计方法，其特征在于，所述测试结构序列号至少包括阿拉伯数字或英文字母。
7.如权利要求1所述的测试结构序列号的设计方法，其特征在于，所述测试结构序列号紧靠所述测试结构的一端。
8.如权利要求1所述的测试结构序列号的设计方法，其特征在于，所述测试结构序列号为单向排列。
9.一种测试结构序列号，所述测试结构序列号设置于测试区域，其特征在于，所述测试结构序列号由多个已知符合设计规则的辅助图形或者辅助图形排列的间隙形成。
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