[发明专利]用于硅熔炼的石墨坩埚及其使用方法无效

专利信息
申请号: 201310264207.5 申请日: 2013-06-28
公开(公告)号: CN103332693A 公开(公告)日: 2013-10-02
发明(设计)人: 陈磊;谭毅;张晓峰;袁涛;刘子成;姜大川 申请(专利权)人: 青岛隆盛晶硅科技有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266234 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 用于 熔炼 石墨 坩埚 及其 使用方法
【权利要求书】:

1.一种用于硅熔炼的石墨坩埚,包括坩埚体,坩埚体的外壁缠绕有电磁线圈,其特征在于坩埚体由坩埚底和坩埚壁组成,所述的坩埚壁由沿坩埚体圆周方向上等距排列的至少12片石墨板组成。

2.根据权利要求1所述的用于硅熔炼的石墨坩埚,其特征在于石墨板与相邻石墨板的缝隙的面积比为2~4:1。

3.根据权利要求1所述的用于硅熔炼的石墨坩埚,其特征在于石墨板与坩埚底采用插接的方式连接。

4.根据权利要求1所述的用于硅熔炼的石墨坩埚的使用方法,其特征在于将硅块放入到石墨坩埚内,采用电磁线圈对硅块进行感应加热,当硅块开始熔化成硅液时,调节电磁线圈功率,始终保持石墨坩埚内任意位置的硅液沿径向受到的电磁力大于硅液受到的最大流体静压力。

5.根据权利要求4所述的用于硅熔炼的石墨坩埚的使用方法,其特征在于按照以下步骤进行:

(1)将硅块放入到石墨坩埚内,并将热电偶插入到石墨坩埚底部中心位置处,电磁线圈连接电源,开始对硅块感应加热;

(2)当硅块开始熔化时,增大电磁线圈功率,保持石墨坩埚内任意位置的硅液沿径向受到的电磁力大于硅液受到的最大流体静压力,从而硅液在石墨坩埚内不会接触到坩埚壁的内壁;

(3)随着硅液的不断熔化,硅液受到的最大流体静压力不断增大,从而不断增大电磁线圈功率,保持石墨坩埚内任意位置的硅液沿径向受到的电磁力大于硅液受到的最大流体静压力,从而硅液在石墨坩埚内不会接触到坩埚壁的内壁;

(4)硅块全部熔化成硅液后,保持电磁线圈功率不变即可。

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