[发明专利]防静电热板结构

说明书

技术领域

本发明涉及显示屏制造设备，特别涉及一种能保证OLED的可靠性的防静电热板结构。

背景技术

在平面显示器曝光工艺的光刻胶涂布及显影机台，如图1至3所示，玻璃基板G传送以机械手臂8为主。现有技术的热板结构中，热板9内具有用于加热玻璃基板G的电加热装置。一般是在热板9中通过热槽布设有电热丝。在热板9内配置有多个可升降的顶杆91。分布于热板9周边和中心的顶杆91，均调整为相同的高度，使玻璃基板G在完成热制程后，顶起过程中和顶起到指定高度后水平位置一致。

该现有技术中，在没有加热温度时（常温为23℃），因无静电影响，所以不易发现玻璃基板G于加热后，整片玻璃基板G会因静电影响而平贴热板9上。如图3所示，当顶杆91升起时，因周边静电吸附作用，玻璃基板G边缘未先剥离，以至于玻璃基板G受到顶杆91升起的压力，而造成破片。因而，易造成机台污染、清理破片及复机等生产中断的损失。

另一种作法，如公开号为US6676761B2美国专利中，公开了一种基板剥离的装置及方法。其要解决的技术问题是：如果剥离过程期间的静电吸附力足够大，基板弓过度会发生在基板从衬底支撑完全分离之前。基板的过度弯曲可能会导致破裂、断裂或其它损坏的衬底和/或材料层或设置在基板上的设备。其技术方案请参照图4、图5所示。一般情况下，在升降板154接触升降销150、152之前，由升降板154移近支承组件138。相对升降板154，作为第一组180的升降销150，一般长于第二组182的升降销152。因此，第一组180的升降销150，首先从支承表面134的周边穿出来顶起基板140。一旦第一组180的升降销150从支承表面134顶起距离“L”，升降板154便能接触较短的第二组182的升降销钉152。“L”，也可以代表该升降机销150与152的长度的差。在一个实施例中，“L”至少约2毫米。

然而，这一现有技术，如图5所示，玻璃基板140仍会在升降销150与升降销152之间的高度差2mm范围内产生变形，也仍未消除静电的影响。所以，此方法仍会因静电吸附过强造成破片。又因升降销150与152顶部面积过大，易造成玻璃基板产生划伤，产生破片及外观缺陷导致的良率损失。

发明内容

为解决现有技术的问题，本发明的目的就在于提供一种消除热板的静电影响，还能确保不会影响热量的辐射传导的防静电热板结构。

本发明提供一种防静电热板结构，一种防静电热板结构，应用于平面显示器光刻胶涂布及显影机台，其中，所述热板顶面能放置玻璃基板，并能对所述玻璃基板进行加热；在所述热板内安装有多个能从所述热板顶面向上顶起的顶杆，所述热板顶面上设置有多个间隔布置的固定顶针，所述固定顶针在所述热板顶面支撑所述玻璃基板。

本公开的有益效果在于，相对于现有技术以玻璃基板直接贴附在热板表面，本发明利用多个顶针将玻璃基板顶起0.1mm，即能消除热板的静电影响，还能确保不会影响热量的辐射传导。

根据一种实施方式，所述顶杆包括位于所述热板外周的外顶杆及位于所述热板中心的中心顶杆，所述中心顶杆低于所述外顶杆。

以此顶杆的配置，可较好的顶起玻璃基板，玻璃基板不会发生破裂。

根据一种实施方式，所述中心顶杆与外顶杆的高度差为1.8mm至0.8之间。

这样的距离对于玻璃基板具有较佳的防静电吸附效果。

根据一种实施方式，所述顶杆顶面为球形或针状。顶针可采用圆型或针状设计，防止划伤产生。

根据一种实施方式，所述热板的顶杆由底部的托板带动升起和降下，所述托板下部由马达驱动。

根据一种实施方式，所述固定顶针呈针状，其凸出于所述热板顶面的高度为0.1mm。

借此，即不会影响热板中电热丝对玻璃基板的辐射加热，同时还能避免玻璃基板与热板之间的静电吸附力的产生。

根据一种实施方式，所述固定顶针的材料为聚苯硫醚、氯化聚醚、聚芳砜或氨基塑料。

本发明相较于现有技术的有益技术效果在于：

（1）减少玻璃基板破片造成产品污染的机会；

（2）降低破片清理机台，所造成的生产损失，降低产品返工(Rework)的机会。

（3）通过改变硬体设定的规格，改善实际生产中产生的破片问题。

以往都是玻璃基板直接贴附在热板表面，本发明利用多个顶针将玻璃基板顶起0.1MM，即能消除热板的静电影响，还能确保不会影响热量的辐射传导。

附图说明