[发明专利]一种金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法

权利要求书

1.一种金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法，其特征在于：通入氩气，真空度保持3×10^-1Pa～5×10^-1Pa，加热150℃～200℃，调节占空比0.5～0.8，负偏压200V～300V，将作为沉积源的金属靶材放在弧源位置上引燃，弧电流为150A～220A，沉积金属18min～25min后，关闭弧源，通入乙炔或甲烷气体，调节氩气，真空度保持3×10^-1Pa～5×10^-1Pa，引燃放在弧源位置上的金属靶材，弧电流为180A～220A，沉积金属碳化物18min～30min。

2.如权利要求1所述的金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法，其特征在于：所述金属靶材为金属钽、金属钼或金属钨，且金属钽、金属钼或金属钨的含量均在99.95%以上。

3.如权利要求1所述的金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法，其特征在于：所述氩气和乙炔或甲烷气体的体积比为1：2～1：5。

4.如权利要求3所述的金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法，其特征在于：所述氩气和乙炔气体体积比为1：2～1：4或所述氩气和甲烷气体体积比为1：3～1：5。

5.如权利要求1～4任一项所述的金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法，其特征在于：沉积金属涂层和沉积金属碳化物层前须进行预处理：在温度200℃～300℃加热烘烤4h～12h，取出2h内经无油无水干燥高压氩气除尘处理后放入真空度大于6×10^-2Pa的离子镀真空室内。

6.如权利要求5所述的金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法，其特征在于：经预处理后再经溅射清洗：调节占空比为0.5～0.8，负偏压为600V～850V，清洗30s～120s。

7.如权利要求6所述的金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法，其特征在于：所述溅射清洗为占空比为0.5～0.8，负偏压为600V～850V时，清洗30s～120s；占空比为0.5～0.8，负偏压为700 V～850V，再清洗30s～120s。

8.如权利要求1所述的金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法，其特征在于：沉积的所述金属的涂层和沉积的所述金属碳化物的涂层叠加两次以上的涂层厚度为6μm～300μm；叠加涂层的厚度调制周期为1μm～10μm，其中金属涂层的厚度为1μm～9μm，金属碳化物涂层的厚度为1μm～9μm。

9.如权利要求7所述的金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法，其特征在于：沉积的所述金属的涂层和沉积的所述金属碳化物的涂层叠加两次以上的涂层厚度为6μm～300μm，叠加涂层的厚度调制周期为1μm～10μm；其中金属涂层的厚度为1μm～9μm，金属碳化物涂层的厚度为1μm～9μm。