[发明专利]轮胎硫化模具的清洗方法以及装置

权利要求书

1.一种轮胎硫化模具的清洗方法，使用等离子体清洗使充气轮胎的胎面部成型的轮胎硫化模具的扇形块的成型面，该等离子体是在可与附着于所述扇形块的成型面上的污垢进行化学反应的反应气体环境中产生的，该方法包括：

使所述扇形块的成型面与由平面的板状体构成的放电用电极相面对地将该扇形块配置在清洗处理槽内的电极台上的工序；

一边对所述清洗处理槽内减压、一边向该清洗处理槽内供给所述反应气体的工序；

向与所述扇形块的成型面不相面对的面被电绝缘层所覆盖的所述放电用电极供给高频电力、利用在所述放电用电极与所述扇形块的成型面之间产生的辉光放电在放电用电极与扇形块的成型面之间生成等离子体的工序；和

向所述电极台施加频率比供给到所述放电用电极的高频低的高频电压、在该电极台产生负的自偏电压的工序。

2.如权利要求1所述的轮胎硫化模具的清洗方法，其中：使供给到所述放电用电极的高频电力的输出阶段性地增加。

3.如权利要求1或2所述的轮胎硫化模具的清洗方法，其中：在向所述放电用电极供给高频电力的同时，向所述电极台施加高频电压。

4.如权利要求1或2所述的轮胎硫化模具的清洗方法，其中：在开始向所述放电用电极供给高频电力之后，延迟10秒～5分钟向所述电极台施加高频电压，另一方面使向所述电极台施加的高频电压的输出阶段性地增加。

5.如权利要求1或2所述的轮胎硫化模具的清洗方法，其中：从40KHz～100KHz的高频电源向所述电极台施加所述高频电压。

6.如权利要求1或2所述的轮胎硫化模具的清洗方法，其中：将所述清洗处理槽内减压到60Pa～90Pa的范围。

7.如权利要求1或2所述的轮胎硫化模具的清洗方法，其中：具有在将所述扇形块配置在所述清洗处理槽内之前对所述扇形块进行预热的工序。

8.如权利要求7所述的轮胎硫化模具的清洗方法，其中：在100℃～160℃的范围内对所述扇形块预热。

9.一种轮胎硫化模具的清洗装置，使用等离子体清洗使充气轮胎的胎面部成型的轮胎硫化模具的扇形块的成型面，该等离子体是在可与附着于所述扇形块的成型面上的污垢进行化学反应的反应气体环境中产生的，该清洗装置具有：

收纳所述扇形块的清洗处理槽；配设在该清洗处理槽内、载置所述扇形块的电极台；对所述清洗处理槽内进行减压的减压单元；向所述清洗处理槽内供给所述反应气体的反应气体供给单元；与所述扇形块的成型面相面对地配设在所述清洗处理槽内，且与所述扇形块的成型面不相面对的面被电绝缘层所覆盖的、由平面的板状体构成的放电用电极；向该放电用电极供给高频电力的第1高频电源；和向所述电极台供给频率比向所述放电用电极供给的高频波低的高频电压的第2高频电源，

利用在所述放电用电极与所述扇形块的成型面之间产生的辉光放电在放电用电极与扇形面的成型面之间生成等离子体。

10.如权利要求9所述的轮胎硫化模具的清洗装置，其中：在所述放电用电极与所述第1高频电源之间电连接有阻抗匹配器。

11.如权利要求9或10所述的轮胎硫化模具的清洗装置，其中：具有使所述第1高频电源和所述第2高频电源的输出阶段性增加地进行控制的控制单元。

12.如权利要求9或10所述的轮胎硫化模具的清洗装置，其中：具有能够预热所述扇形块的预热单元。

13.如权利要求9或10所述的轮胎硫化模具的清洗装置，其中：所述板状体由铝形成，该板状体的面与载置在所述电极台上的所述扇形块的成型面相面对。

14.如权利要求9或10所述的轮胎硫化模具的清洗装置，其中：所述反应气体供给单元构成为，向所述放电用电极与载置在所述电极台上的所述扇形块之间喷射反应气体。

15.如权利要求9或10所述的轮胎硫化模具的清洗装置，其中：在所述清洗处理槽的下部连接有所述减压单元。

16.如权利要求9或10所述的轮胎硫化模具的清洗装置，其中：所述第1高频电源由实质上振荡出13.56MHz的高频波的高频振荡器构成，所述第2高频电源由实质上振荡出40KHz～100KHz的高频波的高频振荡器构成。