[发明专利]粒子检测装置的光源的制造装置及粒子检测装置的光源的制造方法有效
申请号: | 201310277924.1 | 申请日: | 2013-07-03 |
公开(公告)号: | CN103528929A | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 衣笠静一郎 | 申请(专利权)人: | 阿自倍尔株式会社 |
主分类号: | G01N15/02 | 分类号: | G01N15/02;G01N15/06 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 肖华 |
地址: | 日本东京都千代田*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 粒子 检测 装置 光源 制造 方法 | ||
1.一种粒子检测装置的光源的制造装置,其特征在于,包括:
保持光源元件的元件保持部,
保持装有所述光源元件的基座的基座保持部,
识别所述光源元件表面的布线图形方向的识别装置,及
使所述光源元件相对于所述基座相对地旋转,以使所述光源元件的布线图形相对于所述基座朝着规定的方向的旋转机构。
2.如权利要求1所述的粒子检测装置的光源的制造装置,其特征在于,所述识别装置识别设于所述基座上的配置方向显示部。
3.如权利要求2所述的粒子检测装置的光源的制造装置,其特征在于,所述旋转机构使所述光源元件相对于所述基座相对地旋转,以使设于所述基座上的配置方向显示部与所述光源元件的布线图形的位置关系满足规定的条件。
4.如权利要求1至3中任一项所述的粒子检测装置的光源的制造装置,其特征在于,所述识别装置包括对所述光源元件的表面进行摄像的摄像元件。
5.如权利要求4所述的粒子检测装置的光源的制造装置,其特征在于,所述识别装置进一步包括保存预先取得的所述光源元件的布线图形的设计数据的设计存储部。
6.如权利要求5所述的粒子检测装置的光源的制造装置,其特征在于,所述识别装置进一步包括根据所述设计数据从所述光源元件的表面图像提取所述布线图形的提取部。
7.如权利要求1至6中任一项所述的粒子检测装置的光源的制造装置,其特征在于,所述旋转机构使所述元件保持部旋转。
8.如权利要求1至7中任一项所述的粒子检测装置的光源的制造装置,其特征在于,所述旋转机构使所述基座保持部旋转。
9.一种粒子检测装置的光源的制造方法,其特征在于,包含如下步骤:
保持光源元件的步骤;
保持装有所述光源元件的基座的步骤;
识别所述光源元件表面的布线图形方向的步骤;及
使所述光源元件相对于所述基座相对地旋转,以使所述光源元件的布线图形相对于所述基座朝着规定的方向的步骤。
10.如权利要求9所述的粒子检测装置的光源的制造方法,其特征在于,进一步包含对设置于所述基座上的配置方向显示部进行识别的步骤。
11.如权利要求10所述的粒子检测装置的光源的制造方法,其特征在于,使所述光源元件相对于所述基座相对地旋转,以使设置于所述基座上的配置方向显示部与所述光源元件的布线图形的位置关系满足规定的条件。
12.如权利要求9至11中任一项所述的粒子检测装置的光源的制造方法,其特征在于,所述识别步骤包含对所述光源元件的表面进行摄像的步骤。
13.如权利要求12所述的粒子检测装置的光源的制造方法,其特征在于,所述识别步骤进一步包含准备预先取得的所述光源元件的布线图形的设计数据的步骤。
14.如权利要求13所述的粒子检测装置的光源的制造方法,其特征在于,所述识别步骤进一步包含根据所述设计数据从所述光源元件的表面图像提取所述布线图形的步骤。
15.如权利要求9至14中任一项所述的粒子检测装置的光源的制造方法,其特征在于,使所述光源元件相对于所述基座相对地旋转是使芯片旋转。
16.如权利要求9至15中任一项所述的粒子检测装置的光源的制造方法,其特征在于,使所述光源元件相对于所述基座相对地旋转是使所述基座旋转。
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