[发明专利]固态成像装置、制造固态成像装置的方法以及电子设备

权利要求书

1.一种固态成像装置，包括：

半导体基板；

像素，每一个该像素包括形成在该半导体基板中的光电转换部；

沟槽，形成在该半导体基板中，并且该沟槽分隔相邻的像素；以及

彩色滤光片，形成在每一个该像素的该光电转换部之上且埋设在该沟槽的至少一部分中，

其中当相邻像素的颜色灵敏度具有实质差别时，与相邻像素中的低颜色灵敏度的像素具有相同颜色的彩色滤光片埋设在像素之间的该沟槽中。

2.根据权利要求1所述的固态成像装置，

其中在具有最高灵敏度颜色的像素与相邻的其他颜色的像素之间的沟槽中埋设其他颜色的彩色滤光片。

3.根据权利要求2所述的固态成像装置，

其中像素的颜色阵列是拜耳阵列，并且在绿像素周围的该沟槽中埋设具有相邻像素的颜色的红色滤光片或蓝色滤光片。

4.根据权利要求2所述的固态成像装置，

其中像素的颜色阵列是清除位阵列，绿色滤光片埋设在绿像素相邻的像素之间的沟槽中，并且具有相邻于该绿像素的像素的颜色的红色滤光片或蓝色滤光片埋设在绿像素不相邻的像素之间的沟槽中。

5.根据权利要求2所述的固态成像装置，

其中像素的颜色阵列包括其上不设置彩色滤光片的白像素，并且具有相邻于该白像素的像素的颜色的彩色滤光片埋设在白像素不相邻的像素之间的沟槽中。

6.根据权利要求2所述的固态成像装置，

其中在具有相同颜色且彼此相邻的像素之间的沟槽中埋设相同颜色的彩色滤光片。

7.一种制造固态成像装置的方法，包括：

在半导体基板中形成包括在像素中的光电转换部；

在该半导体基板中形成分隔相邻像素的沟槽；以及

在每一个该像素的该光电转换部之上形成彩色滤光片，并且在该沟槽的至少一部分中埋设该彩色滤光片，

其中当相邻像素的颜色灵敏度具有实质差别时，与相邻像素中的低颜色灵敏度的像素具有相同颜色的彩色滤光片埋设在像素之间的该沟槽中。

8.根据权利要求7所述的制造固态成像装置的方法，

其中该形成彩色滤光片包括：多个颜色的彩色滤光片中具有最高灵敏度颜色的彩色滤光片在形成各色的该彩色滤光片之后形成。

9.一种电子设备，包括：

光学系统；

固态成像装置，包括半导体基板、每一个均包括形成在该半导体基板中的光电转换部的像素、形成在该半导体基板中且分隔相邻像素的沟槽以及形成在每一个该像素的该光电转换部之上且埋设在该沟槽的至少一部分中的彩色滤光片；以及

信号处理电路，处理该固态成像装置的输出信号，

其中当相邻像素的颜色灵敏度具有实质差别时，与相邻像素中的低颜色灵敏度的像素具有相同颜色的彩色滤光片埋设在像素之间的该沟槽中。