[发明专利]硅片放置架

权利要求书

1.一种硅片放置架，其特征在于：包括两块竖直设置且位置相对应的板块（1），用于固定连接板块（1）的连接件（2），所述连接件（2）和板块（1）构成该硅片放置架的主体，其还包括竖直固定连接于硅片放置架主体上端的提手（3）；所述板块（1）的相对面设置有若干按一定形式排列的两两相对的竖直凹槽（31），该竖直凹槽（31）的下端呈与硅片边缘形状相应的向内的圆弧（32），所述板块（1）间两两相对的竖直凹槽（31）的槽底的距离与硅片的直径相应；硅片放入竖直凹槽（31）后，竖直凹槽（31）下端的圆弧（32）与硅片的边缘贴合形成支撑，且板块（1）的下端超出硅片的边缘。

2.根据权利要求1所述的硅片放置架，其特征在于：所述连接件（2）为分别固定连接板块（1）横向两端的两块侧板、两个X形的架子或两个矩形的框架。

3.根据权利要求2所述的硅片放置架，其特征在于：所述侧板上开设有若干按一定形式排列的通孔。

4.根据权利要求1所述的硅片放置架，其特征在于：所述连接件（2）为固定连接板块（1）底端的矩形框。

5.根据权利要求1所述的硅片放置架，其特征在于：所述竖直凹槽（31）的上端设置倒角。

6.根据权利要求1所述的硅片放置架，其特征在于：所述板块（1）的下端为与竖直凹槽（31）形状相应的圆弧状。

7.根据权利要求1所述的硅片放置架，其特征在于：所述竖直凹槽（31）的槽底的开设有通孔（33）。

8.根据权利要求1所述的硅片放置架，其特征在于：所述竖直凹槽（31）的截面为等腰梯形，等腰梯形的底边为竖直凹槽（31）的开口。

9.根据权利要求1-8任一项所述的硅片放置架，其特征在于：所述连接件（2）通过卡接与板块（1）固定连接。

10.根据权利要求1-8任一项所述的硅片放置架，其特征在于：所述提手（3）通过卡接与硅片放置架的主体固定连接。