[发明专利]有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：

输送单元，包括用于固定基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、用于将其上固定有基底的传送单元沿第一方向移动的第一输送单元和用于在已经完成沉积之后将基底从其分开的传送单元沿与第一方向相反的方向移动的第二输送单元；以及

沉积单元，包括保持在真空状态下的室以及用于在固定在传送单元上的基底上沉积有机层的至少一个有机层沉积组件，

传送单元包括：

运送器，包括无接触式电源模块；和

静电卡盘，固定地结合到运送器以固定基底，

传送单元被构造为在第一输送单元和第二输送单元之间循环，

固定在传送单元上的基底被构造为在被第一输送单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开设定距离。

2.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，充电轨道在与第二输送单元中的无接触式电源模块对应的位置上，从而当运送器在第二输送单元中被输送并且以无接触方式对无接触式电源模块提供电力时，在充电轨道和无接触式电源模块之间形成磁场。

3.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，第一输送单元包括相互平行形成的一对引导轨道和结合到所述引导轨道的引导块。

4.根据权利要求3所述的有机层沉积设备，其中，充电轨道在引导轨道中位于与无接触式电源模块对应的部分处，从而当运送器在第一输送单元中被输送并且以无接触方式对无接触式电源模块提供电力时，在充电轨道和无接触式电源模块之间形成磁场。

5.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，用于吸附基底的铁卡盘还形成在静电卡盘的一侧，并且铁卡盘被构造成接触基底。

6.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，第一输送单元和第二输送单元被构造为穿过沉积单元。

7.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，第一输送单元和第二输送单元彼此平行地分别布置在上方和下方。

8.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，所述有机层沉积设备还包括：

装载单元，用于将基底固定在传送单元上；和

卸载单元，用于将在穿过沉积单元的同时已经完成了沉积的基底与传送单元分开。

9.根据权利要求8所述的有机层沉积设备，其中，第一输送单元被构造为将传送单元顺序输送到装载单元、沉积单元和卸载单元中。

10.根据权利要求8所述的有机层沉积设备，其中，第二输送单元被构造为将传送单元顺序输送到卸载单元、沉积单元和装载单元中。

11.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，所述至少一个有机层沉积组件包括：

沉积源，用于排放沉积材料；

沉积源喷嘴单元，位于沉积源的侧面并且包括多个沉积源喷嘴；

图案化缝隙片，面对沉积源喷嘴单元并且包括沿着一个方向布置的多个图案化缝隙，

其中，沉积源被构造为将沉积材料排放为穿过图案化缝隙片，以按特定图案沉积在基底上。

12.根据权利要求11所述的有机层沉积设备，其中，在第一方向和与第一方向垂直的第二方向中的至少任何一个方向上，有机层沉积组件的图案化缝隙片形成为比基底小。

13.根据权利要求1所述的有机层沉积设备，其中，磁轨位于运送器的表面上，第一输送单元和第二输送单元中的每个包括多个线圈，其中，磁轨和多个线圈结合在一起来构成用于产生使传送单元移动的驱动力的操作单元。

14.根据权利要求13所述的有机层沉积设备，其中，第一输送单元包括：引导构件，每个引导构件包括容纳槽，其中，各容纳槽被构造为容纳传送单元的两侧，以引导传送单元沿着第一方向移动；磁悬浮轴承，被构造为使传送单元从容纳槽悬浮，从而使传送单元以不与容纳槽接触的方式移动。

15.根据权利要求14所述的有机层沉积设备，其中，磁悬浮轴承包括布置在运送器的两个侧表面上的侧磁悬浮轴承和布置在运送器上方的上磁悬浮轴承。