[发明专利]有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法

说明书

本申请要求于2012年7月10日提交到韩国知识产权局的第10-2012-0075142号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的公开通过引用被完全包含于此。

技术领域

下面的描述涉及一种有机层沉积设备、一种使用该设备制造有机发光显示装置的方法以及一种使用该方法制造的有机发光显示装置，更具体地讲，涉及一种适于在大规模生产大基底中使用并实现高清晰度图案化的有机层沉积设备、一种通过使用该设备制造有机发光显示装置的方法以及一种使用该方法制造的有机发光显示装置。

背景技术

与其它显示装置相比，有机发光显示装置具有更宽的视角、更好的对比度特性和更快的响应速度，因此已经作为下一代显示装置而受到关注。

有机发光显示装置包括设置在彼此相对布置的第一电极和第二电极之间的中间层（包括发射层）。可以利用各种方法来形成所述电极和中间层，这些方法之一是独立沉积方法。当通过利用沉积方法制造有机发光显示装置时，将具有与将要形成的有机层的图案相同的图案的精细金属掩模（FMM）设置为与其上形成有机层等的基底紧密接触，将有机层材料沉积在FMM上，以形成具有期望图案的有机层。

然而，利用这种FMM的沉积方法在利用大的母玻璃制造较大的有机发光显示装置时存在困难。例如，当使用这种大的掩模时，掩模会由于引力而弯曲，从而使其图案扭曲。这种缺点不利于朝着高清晰度图案发展的近期趋势。

另外，将基底与FMM对准以彼此紧密接触的工艺、在基底上执行沉积的工艺以及将FMM与基底分开的工艺耗费时间，导致制造时间长并且生产效率低。

在本背景技术部分中公开的信息对于本发明的发明人来说在实现本发明之前是已知的，或者所述信息是在实现本发明的过程中获取的技术信息。因此，它可能包含对于本领域普通技术人员来说在本国不构成已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明的实施例的各方面提供了一种适于在大基底的大规模生产中使用并实现高清晰度图案化的有机层沉积设备、一种通过使用该设备制造有机发光显示装置的方法以及一种使用该发方法制造的有机发光显示装置。

根据本发明的实施例，提供了一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：输送单元，包括用于固定基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、用于将其上固定有基底的传送单元沿第一方向移动的第一输送单元和用于在已经完成沉积之后将基底从其分开的传送单元沿与第一方向相反的方向移动的第二输送单元；和沉积单元，包括保持在真空状态下的室以及用于在固定在传送单元上的基底上沉积有机层的至少一个有机层沉积组件。传送单元包括：运送器，包括无接触式电源（CPS）模块；和静电卡盘，固定地结合到运送器以固定基底。传送单元被构造为在第一输送单元和第二输送单元之间循环，固定在传送单元上的基底被构造为在被第一输送单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开设定距离。

充电轨道可形成在与第二输送单元中的CPS模块对应的位置上，从而当运送器在第二输送单元中被输送并且以无接触方式对CPS模块供应电力时，在充电轨道和CPS模块之间形成磁场。

第一输送单元可包括相互平行形成的一对引导轨道和结合到所述一对引导轨道的引导块。

充电轨道可形成在引导轨道中位于与CPS模块对应的部分处，从而当运送器在第一输送单元中被输送并且以无接触方式对CPS模块供应电力时，在充电轨道和CPS模块之间形成磁场。

用于吸附基底的铁卡盘还可形成在静电卡盘的一侧，并且基底可接触铁卡盘。

第一输送单元和第二输送单元可被构造为穿过沉积单元。

第一输送单元和第二输送单元可彼此平行地分别布置在上方和下方。

所述有机层沉积设备还可包括：装载单元，用于将基底固定在传送单元上；和卸载单元，用于将在穿过沉积单元的同时已经对其完成了沉积的基底与传送单元分开。

第一输送单元可被构造为将传送单元顺序输送到装载单元、沉积单元和卸载单元中。

第二输送单元可被构造为将传送单元顺序输送到卸载单元、沉积单元和装载单元中。

有机层沉积组件可包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，位于沉积源的侧面并且包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，面对沉积源喷嘴单元并且包括沿着一个方向布置的多个图案化缝隙，其中，沉积源可被构造为排放沉积材料穿过图案化缝隙片，以按特定图案沉积在基底上。

在第一方向和与第一方向垂直的第二方向中的至少任何一个方向上，有机层沉积组件的图案化缝隙片可形成为比基底小。