[发明专利]一种振动传感装置

权利要求书

1.一种振动传感装置，其特征在于，包括光源、将所述光源发出的光分为两束的分光镜、用以接收其中一束光和振动信号的振膜、使另一束光与经所述振膜反射的那一束光发生干涉的合束镜以及用以获取所述干涉产生的图样并进行处理的图像处理器，所述分光镜位于所述光源的输出光路上，所述振膜位于所述分光镜的反射光路上，所述合束镜位于所述分光镜的透射光路上，所述图像处理器位于所述合束镜的输出光路上。

2.如权利要求1所述的振动传感装置，其特征在于，所述分光镜和合束镜分别为第一半反半透镜和第二半反半透镜。

3.如权利要求2所述的振动传感装置，其特征在于，所述其中一束光为经第一半反半透镜反射至振膜的光束，所述另一束光为经第一半反半透镜透射至第二半反半透镜的光束；经所述振膜反射的光束经反射镜再次反射后与经所述第二半反半透镜透射的光束叠加，发生所述干涉。

4.如权利要求2所述的振动传感装置，其特征在于，所述其中一束光为经第一半反半透镜反射至反射镜的光束，所述另一束光为经第一半反半透镜透射至第二半反半透镜的光束；经所述反射镜反射的光束经振膜再次反射后与经所述第二半反半透镜透射的光束叠加，发生所述干涉。

5.如权利要求2所述的振动传感装置，其特征在于，所述其中一束光为经第一半反半透镜透射后投射至振膜的光束，所述另一束光为经第一半反半透镜反射后投射至第二半反半透镜的光束；经所述振膜反射的光束经反射镜再次反射后与经第二半反半透镜透射的光束叠加，发生所述干涉。

6.如权利要求2所述的振动传感装置，其特征在于，所述其中一束光为经第一半反半透镜透射后投射至反射镜的光束，所述另一束光为经第一半反半透镜反射后投射至第二半反半透镜的光束；经所述反射镜反射的光束经振膜再次反射后与经第二半反半透镜透射的光束叠加，发生所述干涉。

7.如权利要求1～6中任一项所述的振动传感装置，其特征在于，所述振膜为褶边悬挂于框架的金属反光薄膜或硬质反光薄膜。

8.如权利要求7所述的振动传感装置，其特征在于，所述硬质反光薄膜为玻璃反射镜，使所述框架内的固定螺丝松脱后，由所述玻璃反射镜接收振动信号。

9.如权利要求8所述的振动传感装置，其特征在于，所述玻璃反射镜朝向振动源的表面为用以接收振动信号的接收面。