[发明专利]一种振动传感装置

说明书

技术领域

本发明属于光机电技术领域，尤其涉及一种振动传感装置。

背景技术

在高度发展的现代工业中，现代测试技术向数字化、信息化方向发展已成必然发展趋势，而测试系统的最前端是传感器，它是整个测试系统的灵魂，被世界各国列为尖端技术，特别是近几年快速发展的IC技术和计算机技术，为传感器的发展提供了良好与可靠的科学技术基础，使传感器的发展日新月益，且数字化、多功能与智能化是现代传感器发展的重要特征。然而现有振动传感装置测试时精度较低，且结构复杂。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种振动传感装置，旨在解决现有振动传感装置测试精度低的问题。

本发明实施例是这样实现的，一种振动传感装置，包括光源、将所述光源发出的光分为两束的分光镜、用以接收其中一束光和振动信号的振膜、使另一束光与经所述振膜反射的那一束光发生干涉的合束镜以及用以获取所述干涉产生的图样并进行处理的图像处理器。

本发明实施例的另一目的在于提供一种电子设备，所述电子设备采用上述振动传感装置。

本发明实施例先将光源发出的光分为两束，然后由振膜接收其中一束光和振动信号，并使另一束光与经该振膜反射的光发生干涉，再对干涉产生的图像处理，从而获知作用于振膜的振动信号的特征。因光的干涉对扰动极为敏感，故本振动传感装置可以提高测试精度，而且结构极其简单。因而本振动传感装置可以用于地震探测、地质勘探、音频仪器中的传声器、声纳中的水声换能器等领域。

附图说明

图1是本发明实施例一提供的振动传感装置的结构示意图；

图2是本发明实施例二提供的振动传感装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明实施例先将光源发出的光分为两束，然后由振膜接收其中一束光和振动信号，并使另一束光与经该振膜反射的光发生干涉，再对干涉产生的图像处理，从而获知作用于振膜的振动信号的特征。因光的干涉对扰动极为敏感，故本振动传感装置可以提高测试精度，而且结构极其简单。

下面列举若干实施例对本发明的实现进行详细描述。

实施例一

如图1所示，本发明实施例提供的振动传感装置包括光源1、将所述光源1发出的光分为两束的分光镜2、用以接收其中一束光和振动信号的振膜3、使另一束光与经所述振膜3反射的那一束光发生干涉的合束镜4以及用以获取所述干涉产生的图样并进行处理的图像处理器5。此处先将光源1发出的光分为两束，然后由振膜3接收其中一束光和振动信号，并使另一束光与经该振膜3反射的光发生干涉，再对干涉产生的图像处理，从而获知作用于振膜3的振动信号的特征。因光的干涉对扰动极为敏感，故本振动传感装置可以提高测试精度，而且结构极其简单。

其中，所述分光镜2和合束镜4分别为第一半反半透镜和第二半反半透镜。具体地，所述其中一束光为经第一半反半透镜反射至振膜3的光束，所述另一束光为经第一半反半透镜透射至第二半反半透镜的光束；经所述振膜3反射的光束经反射镜6再次反射后与经所述第二半反半透镜透射的光束叠加，发生所述干涉。这样所述振膜3于振动信号作用下产生振动，可对所述其中一束光的光程进行调制，而所述其中一束光的光程变化可以对干涉产生的图样(即干涉图样)进行调制，再由所述图像处理器5实时获取干涉图样并对其变化情况进行分析处理，得到作用于所述振膜3的振动信号的特征，如振幅、频率、相位等。

通常，所述图像处理器5采用如下算法对干涉图样的变化情况进行分析处理。

1.1降噪

1.1.1第一次降噪

因为采集到的图片含有少量背景杂音，为减少杂音对还原信号的影响，故对图像做降噪处理，降噪的算法采用：加速收敛(Lucy-Richardson)算法。此处利用泊松方程，对噪声进行统计提取标准，再按照此标准结合PSF反推，对于图像噪声信息未知的时候，可以用不同PSF值进行尝试，获取最佳的效果。因为目前尚不清楚CCD镜头产生噪声的机理，所以利用加速收敛算法进行降噪的效果最好。

1.1.2加强信号