[发明专利]气体净化装置

权利要求书

1.一种气体净化装置，其特征在于，包括密封鼓风源，该密封鼓风源具有：

密封壳体，具有从外部被隔开的内部空间；

气体导入部，将被过滤器净化的气体导入到所述内部空间；

鼓风机，收纳于所述密封壳体内，将从所述内部空间吸入的所述气体送出；

冷却机构，以覆盖所述鼓风机的周围的方式配置，冷却所述内部空间；

气体导出部，将所述鼓风机送出的所述气体向外部导出。

2.如权利要求1所述的气体净化装置，其特征在于，在所述密封鼓风源中，所述气体导入部包括使从外部供给到的气体流入的气体流入口和配置于该气体流入口和所述鼓风机之间且带有使气体向所述内部空间放出的通孔的开放放出部；并且，所述气体导出部包括使由所述鼓风机送出的气体通过的送气部和用于使通过该送气部的气体排出到外部的气体流出口。

3.如权利要求1所述的气体净化装置，其特征在于，在所述密封鼓风源中，所述气体导入部包括使从外部供给到的气体流入的气体流入口和配置于该气体流入口和所述鼓风机之间使气体向所述内部空间放出的硬管；并且，所述气体导出部具有使由所述鼓风机送出的气体通过的送气部和用于使通过该送气部的气体排出到外部的气体流出口。

4.如权利要求2或3所述的气体净化装置，其特征在于，所述密封鼓风源还包括冷却所述气体导入部的气体流入口的周围和所述气体导出部的气体流出口的周围的第二冷却机构。

5.一种气体净化装置，其特征在于，包括：

前置过滤器，使从外部供给的气体通过；

如权利要求1至3中任一项所述的密封鼓风源，被供给通过该前置过滤器的气体；

热交换器，冷却从该密封鼓风源排出的气体；

HEPA过滤器，使被该热交换器冷却的气体通过。

6.如权利要求5所述的气体净化装置，其特征在于，所述前置过滤器、所述密封鼓风源、所述热交换器和所述HEPA过滤器收纳于单一的外壳内。

7.一种气体净化装置，其特征在于，包括：

前置过滤器，使从外部供给的气体通过；

如权利要求1至3中任一项所述的密封鼓风源，被供给通过该前置过滤器的气体；

HEPA过滤器，使从该密封鼓风源排出的气体通过。

8.如权利要求7所述的气体净化装置，其特征在于，所述前置过滤器、所述密封鼓风源和所述HEPA过滤器收纳于单一的外壳内。

9.如权利要求7所述的气体净化装置，其特征在于，收纳有所述前置过滤器和所述HEPA过滤器的过滤单元与所述密封鼓风源形成为经由所述气体流路能够连结或分离。